[实用新型]一种晶片粘接及烤胶装置

说明书

本实用新型提供一种晶片粘接及烤胶装置，包括加热板、替换板和镶嵌盖板，加热板上层掏空形成加热槽，加热槽四周设有限位护栏，限位护栏外侧设有限位凹槽，替换板置于加热槽内，替换板上层挖空形成多个渗蜡槽，渗蜡槽之间设有隔板，起到保温作用的镶嵌盖板放置在加热板上。本实用新型不仅结构简单，装配及使用方便，适于处理粘接蜡胶和对晶砣进行的加热粘接操作，而且可以解决传统的平板电炉直接加热法中存在的晶砣及粘接蜡胶受热不均及浸胶不彻底的问题。

技术领域

本实用新型属于晶片加工技术领域，具体涉及一种晶片粘接及烤胶装置。

背景技术

在加工制造小尺寸石英晶片的过程中，为避免切割石英晶片产生的损失，工业上常先将石英晶片粘接成晶砣，然后再切割成小尺寸晶片。晶片粘接通常需要高温条件，传统加热方式为采用平板电炉直接加热晶砣和粘接蜡胶。现有技术中的平板电炉常通过设置多根电热管进行加热，然而电热管之间存在空隙，且电热管发热为区域发热，所以平板电炉存在传热不均等问题，这导致在直接加热过程中，晶砣和粘接蜡胶受热不均。

在晶片粘接的过程中，需要利用粘接蜡胶的粘性及其液体的流动性来充分粘接石英晶片，但是加工过程中常存在浸胶不彻底的问题，而浸胶不彻底易导致粘接后的晶砣中残留大量气泡，不利于晶砣的后续加工。为了解决上述问题，人们一直在寻找合适的方案，专利晶砣粘接装置和晶砣粘接方法(申请号为201710327765.X)提供了一种结构简单的粘接装置，该装置设有一定深度的渗蜡槽，渗蜡槽内设置有隔板和晶砣定位块，非常适合大尺寸石英晶片的渗蜡处理，但是该装置处理量有限，而且并不能解决晶砣和粘接蜡胶在直接加热过程中受热不均的问题。

因此，急需一种结构简单，能解决晶砣和粘接蜡胶受热不均匀，浸胶不彻底等问题的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有平板电炉直接加热晶砣和粘接蜡胶的方法存在的不足，提供一种结构简单、能够解决浸胶不彻底、晶砣及粘接蜡胶受热不均等问题的一种晶片粘接及烤胶装置。

本实用新型提供了如下技术方案：

一种晶片粘接及烤胶装置，包括加热板、替换板和镶嵌盖板，所述加热板上层掏空形成加热槽，所述加热槽四周设有限位护栏，所述限位护栏外侧设有限位凹槽，所述替换板置于所述加热槽内，所述替换板上层掏空形成若干渗蜡槽，所述渗蜡槽之间设有隔板，所述镶嵌盖板放置在所述加热板上。

优选的，所述加热板为长方形，所述加热板底部设有平板电炉，所述加热板底部面积小于或等于平板电炉的面积，是为了利用电炉温度最均匀的区域。

优选的，所述加热板下端设有以所述加热板纵向中心线对称分布的一组加热板通孔，是为了避免夹层内产生负压，便于取下装置。

优选的，所述加热槽的横截面为长方形，所述加热槽的深度大于或等于所述替换板的厚度，是为了让所述替换板能稳固放置在所述加热板内，并保证装置的保温效果。

优选的，所述替换板为长方形，所述替换板的底部面积小于或等于所述加热槽的底面面积，是为了能够将所述替换板放置在所述加热槽内。

优选的，所述替换板上设有1-50个渗蜡槽，所述渗蜡槽的横截面为倒梯形，所述渗蜡槽的深度大于或等于晶片的长度，是为了提高浸胶的均匀性。

优选的，所述替换板上设有以所述替换板横向中心线对称分布的一组把手，所述把手上设有以所述把手纵向中心线对称分布的一组螺栓和一组把手通孔，是为了便于拆卸所述替换板。

优选的，所述镶嵌盖板包括相互连接的盖板槽和盖板边缘，所述盖板边缘设置于所述盖板槽的外侧，将所述镶嵌盖板置于所述加热板上时，所述盖板边缘与所述加热板上的所述限位凹槽相接触，是为了提高装置的保温效果。

优选的，所述加热板、所述替换板及所述镶嵌盖板的材料采用不锈钢，是因为不锈钢金属板导热均匀，且易加工成型。