[实用新型]LED金属蒸镀衬锅及其装置有效
| 申请号： | 201820610880.8 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN208104525U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 龚彬彬;王远红 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 郑隽;吴婷 |
| 地址： | 423038 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 底座 槽体侧壁 金属蒸镀 台阶凸起 侧壁 外壁 坩埚 本实用新型 底座外侧壁 金属电极 坩埚内壁 良品率 内表面 延伸 黑点 锐角 紧贴 环绕 垂直 | ||
1.一种LED金属蒸镀衬锅，其特征在于，包括：
底座；
槽体侧壁，实施槽体侧壁设置于所述底座；
台阶凸起，设置于所述底座外侧壁上；
其中，所述台阶凸起环绕所述底座并垂直所述LED金属蒸镀衬锅的轴线向外延伸形成；
所述槽体侧壁的外壁与坩埚内壁间隔、或所述底座底面与所述坩埚内壁间隔、或所述槽体侧壁的外壁和所述底座底面均与所述坩埚内壁间隔；
所述槽体侧壁的一端与所述底座相连接，另一端向所述底座外延伸，并与所述底座成锐角。
2.根据权利要求1所述的LED金属蒸镀衬锅，其特征在于，所述LED金属蒸镀衬锅还包括槽体内腔，所述槽体侧壁围成用于容纳金属电极的所述槽体内腔。
3.根据权利要求2所述的LED金属蒸镀衬锅，其特征在于，所述槽体内腔的槽底外壁上设置凹槽，所述凹槽的槽底与所述坩埚内底面间隔。
4.根据权利要求3所述的LED金属蒸镀衬锅，其特征在于，所述凹槽的直径小于所述底座的直径，并设置于所述底座的底面上。
5.根据权利要求4所述的LED金属蒸镀衬锅，其特征在于，所述底座的底面上设有增高台，所述增高台垂直所述底座的底面向外延伸形成，所述增高台形成所述凹槽的侧壁。
6.根据权利要求3所述的LED金属蒸镀衬锅，其特征在于，所述凹槽的深度为1～2mm。
7.根据权利要求1所述的LED金属蒸镀衬锅，其特征在于，所述台阶凸起的台阶面长度为2～3mm。
8.一种LED金属蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1～7中任一项所述的LED金属蒸镀衬锅和坩埚，所述LED金属蒸镀衬锅容纳设置于所述坩埚内；
所述LED金属蒸镀衬锅内设有容纳金属电极的所述槽体内腔；
所述LED金属蒸镀衬锅的外侧壁与所述坩埚的内侧壁相间隔，形成侧壁空隙。
9.根据权利要求8所述的LED金属蒸镀装置，其特征在于，所述槽体内腔的外底面与所述坩埚的内底面相间隔，形成底部空隙。
10.根据权利要求9所述的LED金属蒸镀装置，其特征在于，所述侧壁空隙的垂直距离为1～5mm；所述底部空隙的垂直距离为1～5mm。
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