[实用新型]一种石墨舟压点机有效
申请号: | 201820619283.1 | 申请日: | 2018-04-27 |
公开(公告)号: | CN208298801U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 韦力凯;侯振华;杨宗明 | 申请(专利权)人: | 深圳市石金科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18;C23C16/458 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 程华 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 卡点 压点 套筒 石墨舟 盲孔 本实用新型 菱形 固定平台 非圆形 真空泵 精准控制 石墨舟片 转动连接 通气孔 侧壁 底端 内框 竖直 吸附 气管 相通 | ||
1.一种石墨舟压点机,其特征在于:包括固定平台和固定在所述固定平台上的压点机;所述压点机的主轴的底部转动连接有一竖直的套筒,所述套筒的底端水平且设置有卡点凹槽,所述套筒的侧壁设置有一盲孔,所述盲孔通过气管与真空泵相连通,所述卡点凹槽与所述盲孔通过通气孔相通。
2.根据权利要求1所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述压点机包括固定在所述固定平台上的支撑柱,所述支撑柱上连接有主轴箱,所述主轴箱中竖直设置有侧壁设置有齿条的主轴以及与所述齿条啮合的齿轮,所述齿轮的中心固连有手把柄。
3.根据权利要求2所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述主轴的底端设置有套筒固定槽,且所述主轴侧壁设置有通向所述套筒固定槽的螺纹孔,所述套筒固定槽中设置有竖直的套筒,所述螺纹孔中安装有螺钉将所述套筒紧固在所述套筒固定槽中。
4.根据权利要求3所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述卡点凹槽呈三角形、菱形或一字形。
5.根据权利要求4所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述套筒的底端的侧壁设置有一个竖直的台阶,且所述台阶与所述卡点凹槽的一个侧壁平行。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述固定平台上设置有定位板,所述定位板顶端设置有用于对石墨舟定位的台阶,所述定位板通过两个螺钉与所述固定平台连接,且所述定位板对应两个所述螺钉分别设置有限位滑槽。
7.根据权利要求6所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述定位板呈U型,所述固定平台上固设有被所述定位板包围的定位垫片,所述定位垫片包括呈长方体状的定位块和水平穿设于所述定位块中的插板,所述定位块对应所述插板设置有插孔,所述定位块顶端设置有与所述插孔相通的通孔,所述通孔的截面积大于卡点的面积。
8.根据权利要求7所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述定位块的厚度与所述定位板的厚度相同。
9.根据权利要求1所述的石墨舟压点机,其特征在于:所述盲孔攻有内牙,所述气管通过接头与所述盲孔螺纹连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市石金科技股份有限公司,未经深圳市石金科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820619283.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体全自动注胶设备的分体式定位板
- 下一篇:导电多晶硅触点的扩散生成设备
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造