[实用新型]用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置

说明书

本实用新型公开了一种用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置，所述反射膜包括多层膜，所述多层膜包括若干层第一氧化膜和若干层第二氧化膜，第一氧化膜和第二氧化膜交替分布，且第一氧化膜为氧化铪膜或氧化铝膜，第二氧化膜为氧化硅膜。本实用新型采用带粘附性及反射性的氧化铪膜或氧化铝配合氧化硅作为介质材料，通过膜系结构设计形成能够取代贵金属金的深紫外线反射膜，从中保证在降低材料成本的条件下生成反射性能优良的深紫外线反射膜。

技术领域

本实用新型涉及光学薄膜制备领域，特别是涉及一种用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置。

背景技术

紫外线LED(UV-LED)是目前全球各大LED企业积极布局的又一重要方向。其势头之猛、成长之快已远远超过人们预期。再加上早先于2013年签署的《水俣公约》，预计2020年世界范围内全面禁汞，无疑是推动UV-LED发展的最大助力点。

据相关媒体做出的市场分析报告称，UV-LED正逐渐渗入到各种应用领域，加上一些政策推动，UV-LED的市场份额在2020年预计达到5亿美金之多。由此可见，UV-LED是具有巨大市场潜力和商机的产品。从2014年开始，媒体陆续报道有关UV-LED的讯息，且逐年增多，可以看出，UV-LED已在风口浪尖，是产业发展的大势所趋。

从产业来说，UVC-LED主打消毒杀菌领域，例如水杀菌、食物杀菌、空气净化等。应用于家用市场、医疗市场前景非常可观，尤其是中大功率的深紫外线LED(UVC-LED)产品更是具有很大的潜力。目前，多数的深紫外线中大功率LED(UVC-LED)产品为了提高深紫外线的发射强度，在其支架的反射杯内表面采用电镀的方法镀上贵金属金，以提高反射杯对深紫外线的反射率，从而实现提高深紫外线发射强度的目的。然而，反射杯采用镀金的方法需要消耗贵金属金，导致深紫外线LED(UVC-LED)支架成本较高；同时反射杯的生产工艺相对复杂。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于深紫外线的反射膜、反射件和LED装置，其克服了现有技术的深紫外线LED(UVC-LED)产品采用金膜作为反射膜所存在的成本高、工艺复杂的不足。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于深紫外线的反射膜，包括多层膜，所述多层膜包括若干层第一氧化膜和若干层第二氧化膜，第一氧化膜和第二氧化膜交替分布，且第一氧化膜为氧化铪膜或氧化铝膜，第二氧化膜为氧化硅膜。

进一步的，各奇数层的膜均为第一氧化膜，各偶数层的膜均为第二氧化膜。

进一步的，所述第一氧化膜为氧化铪膜，各层氧化铪膜的厚度分别为30～35nm，或者，所述第一氧化膜为氧化铝膜，各层氧化铝膜的厚度分别为35～45nm。

进一步的，位于最外层的膜为氧化硅膜，其厚度大于其余各层氧化硅膜的厚度。

进一步的，位于最外层的氧化硅膜的厚度为90～95nm，其余各层氧化硅膜的厚度分别为40～50nm。

进一步的，所述第一氧化膜为氧化铪膜，氧化铪膜和氧化硅膜的层数分别大于或等于10层，所述反射膜的总厚度为840～850nm；或者，所述第一氧化膜为氧化铝膜，氧化铝膜和氧化硅膜的层数分别大于或等于20层，所述反射膜的总厚度为1775～1785nm。

本实用新型另提供一种反射件，包括基体，该基体表面设置上述本实用新型所述的用于深紫外线的反射膜。

进一步的，所述基体呈杯状，其内表面蒸镀有所述反射膜，和/或，所述基体为铜或氮化铝材质。

本实用新型另提供一种LED装置，为UVC-LED产品，包括本实用新型所述的反射件，通过该反射件的反射膜对LED的光线进行反射。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：