[实用新型]一种快速更换磁控溅射靶材的便携式移动车

说明书

本实用新型公开一种快速更换磁控溅射靶材的便携式移动车，属于运载工具领域。它包括承载车身、底板车身、限位螺钉、升降螺钉、金属滚轮和拖拉手柄，承载车身与底板车身活动相连，且两者随升降螺钉的旋转做上下微小位移；限位螺钉焊接于承载车身的两侧，承载车身的前后位移调节通过限位螺钉的旋转实现；升降螺钉固定于承载车身上，承载车身的升降通过升降螺钉的旋转实现；金属滚轮固定于底板车身的底部两侧；拖拉手柄与底板车身相连。本实用新型简单小巧，能够迅速将靶材移动至镀膜机内，且在安装过程中，能够通过微调小车来实现微起重，短距平移的功能，实现靶材与镀膜机的匹配安装。

技术领域

本实用新型属于运载工具领域，尤其是一种快速更换磁控溅射靶材的便携式移动车。

背景技术

随着人们对镀膜工艺的要求越来越高，磁控溅射作为一种高效的镀膜方式，因具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点而广泛的被应用于工业生产中。但由于磁控溅射使用的原材料一般为铝板、不锈钢板和铬板等金属板材，密度较大，且为了保证板材能够持续长期使用，体积也加工的较大，因而导致重量较重。

在更换靶材时，需至少3到4个成年男性才能将靶材搬运至镀膜机内。且在安装过程中，靶材需要与镀膜机中的上下两个孔位相匹配，依靠人力校准安装十分困难，不仅耗时费力，而且容易出现靶材压手，失衡压伤人等意外。

实用新型内容

为解决内置平面磁控溅射靶在狭小空间内安装更换时因其他起重平移设备无法靠近，只能依靠人力进行安装更换困难的问题，本实用新型提供一种快速更换磁控溅射靶材的便携式移动车，该便携式移动车简单小巧，能够迅速将靶材移动至镀膜机内，且在安装过程中，能够通过微调小车来实现微起重，短距平移的功能，实现靶材与镀膜机的匹配安装。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

一种快速更换磁控溅射靶材的便携式移动车，它包括承载车身、底板车身、限位螺钉、升降螺钉、金属滚轮和拖拉手柄，承载车身与底板车身活动相连，且两者随升降螺钉的旋转做上下微小位移；限位螺钉焊接于承载车身的两侧，承载车身的前后位移调节通过限位螺钉的旋转实现；升降螺钉固定于承载车身上，承载车身的升降通过升降螺钉的旋转实现；金属滚轮固定于底板车身的底部两侧；拖拉手柄与底板车身相连。

进一步地，承载车身与底板车身通过连接滚轴相连；连接滚轴的两端通过螺钉固定。

进一步地，底板车身的底部中间位置焊接有轴承，该轴承两侧安装有金属滚轮。

进一步地，拖拉手柄通过第一螺帽与底板车身相连，第一螺帽焊接于底板车身上；

拖拉手柄通过旋转的方式与第一螺帽连接或者分离。

进一步地，升降螺钉包括第二螺帽和第二螺钉柱，第二螺帽焊接于承载车身靠近拖拉手柄的一侧；

第二螺帽通过与其相匹配的第二螺钉柱的旋转实现上下移动，来升高和降低承载车身的高度。

进一步地，限位螺钉包括第三螺帽和第三螺钉柱，第三螺帽焊接于承载车身的两侧；

第三螺帽通过与其相匹配的第三螺钉柱的旋转实现前后移动，来对承载车身进行前后位移的调节。

有益效果：

1.本实用新型针对目前移动车进行小型化处理，设计巧妙，结构简洁，能与靶材一同进入到磁控溅射镀膜机内；同时，两个金属滚轮用于承载较重的不锈钢靶材进行移动；通过旋转升降螺钉来上下调节靶材的高度；承载车身用于放置靶材；通过旋转两侧的限位螺钉来控制前后的距离，确保靶材与镀膜机匹配安装或者卸载。