[实用新型]一种可防撞针卡的探针台

权利要求书

1.一种可防撞针卡的探针台，探针台包括中心盘装置，中心盘装置用于装取晶圆卡盘，中心盘装置设有用于控制中心盘装置从竖直方向和水平方向之间切换的锁具，测试晶圆时，利用锁具将中心盘装置固定于水平方向，测试完，则扭动开关进行解锁，将中心盘装置从水平方向转到竖直方向，其特征在于：该探针台包括防撞针卡装置，防撞针卡装置包括感应器、顶起装置和控制器，感应器设于中心盘装置，顶起装置设于锁具的一侧，感应器感应晶圆若位于中心盘装置，则控制器控制顶起装置顶住锁具使锁具处于锁定状态。

2.如权利要求1所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述锁具包括第一气缸和连杆，第一气缸的输出杆通过连杆和中心盘装置连接。

3.如权利要求2所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：中心盘装置设有连杆固定座，第一气缸的输出杆通过连杆和中心盘装置的连杆固定座连接。

4.如权利要求2所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第一气缸和连杆均设有两个，两个第一气缸对称设置，两个连杆对称设置。

5.如权利要求2所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述顶起装置设为第二气缸，所述第二气缸的输出杆和第一气缸的输出杆相交设置。

6.如权利要求5所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第二气缸的输出杆和第一气缸的输出杆垂直设置。

7.如权利要求5所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第二气缸为双作用气缸模块，其一端接气压，另一端接真空。

8.如权利要求5所述的一种可防撞针卡的探针台，其特征在于：所述第二气缸通过固定块固定于中心盘装置的背面。