[实用新型]石英管加热器

说明书

本实用新型涉及一种石英管加热器，其包括一长筒形石英管以及置于石英管内的至少一电热丝，所述石英管管口内塞有一隔热棉，所述石英管管口外还设有用于密封的一金属件，所述金属件盖设于石英管管口外，所述电热丝的一端固定在金属件上，所述电热丝的另一端悬置于石英管内，所述金属件包括一主体、凸出于主体的一提手以及设置于主体侧壁上的若干卡扣。本实用新型提出一种石英管加热器，其在现有技术的结构上进行了改进，其结构合理，加热效率高，而且具备循环水冷却降温功能，更加适用于半导体晶体材料的制备。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备领域，尤其涉及半导体晶体生长所用的一种石英管加热器。

背景技术

现有的半导体晶体生长所用的加热器，热利用效率低，且隔热效果不好，热量都无效的散发，对加热器的零部件以及与之配合的其他零部件的耐高温性能提出了很高的挑战。

因此，有必要设计一种新的加热器以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述技术问题，提出一种热利用效率高、结构合理的石英管加热器。

为实现前述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种石英管加热器，其包括一长筒形石英管以及置于石英管内的至少一电热丝，所述石英管管口内塞有一隔热棉，所述石英管管口外还设有用于密封的一金属件，所述金属件盖设于石英管管口外，所述电热丝的一端固定在金属件上，所述电热丝的另一端悬置于石英管内，所述金属件包括一主体、凸出于主体的一提手以及设置于主体侧壁上的若干卡扣。

作为本实用新型的进一步改进，所述金属件与石英管结合处形成一卡槽。

作为本实用新型的进一步改进，所述金属件上开设有若干出线孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述金属件内开设有一冷却水槽。

本实用新型提出一种石英管加热器，其在现有技术的结构上进行了改进，其结构合理，加热效率高，而且具备循环水冷却降温功能，更加适用于半导体晶体材料的制备。

附图说明

图1为本实用新型石英管加热器的整体结构示意图。

图2为本实用新型石英管加热器的俯视图。

图3为图2沿着B-B方向的剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例对技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、2、3，本实用新型提出一种石英管加热器100，其包括一长筒形石英管110以及置于石英管110内的至少一电热丝120，所述石英管110管口内塞有一隔热棉130，所述石英管110管口外还设有用于密封的一金属件140，所述金属件140盖设于石英管110管口外，所述电热丝120的一端固定在金属件140上，所述电热丝120的另一端悬置于石英管110内，所述金属件140包括一主体141、凸出于主体141的一提手142以及设置于主体141侧壁上的若干卡扣143。

所述金属件140与石英管110结合处形成一卡槽144。卡槽144用于石英管加热器100与其他部件的卡接固定。

所述金属件140上开设有若干出线孔145。电源线（图上未示出）穿过出线孔145与电热丝120电性连接。