[实用新型]冷却密封接头

说明书

本实用新型提出一种冷却密封接头，其包括一圆柱形主体以及贴设于主体下方的一层反辐射隔热垫，主体上开设有用于加热装置放置的若干放置孔，所述放置孔上下贯穿主体，主体上表面中心凸设有一提手，所述主体侧缘设置有若干紧固件，主体内设置一环形冷却水槽，主体侧壁设有若干冷却水接口，冷却水槽与冷却水接口连通。本冷却密封接头在加热装置用于加热时，反辐射隔热垫能够减少热量逸出，降低高温辐射对冷却水槽内的冷却水的影响；同时，冷却水槽内的冷却水能够使得密封圈保持在低温，确保冷却密封接头的气密性和稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备领域，尤其涉及作为半导体材料制备装置的部件的一种冷却密封接头。

背景技术

对于半导体材料的制备装置，需要用到PBN坩埚，PBN坩埚需要经历烘烤氧化过程，也就需要用到加热装置和冷却密封接头，加热装置在加热完成后，现有装置冷却效果不佳，高温对与冷却密封接头配合的密封圈易造成损伤，导致气密性受损；并且冷却循环水在高温条件下因热辐射和冷却水冷却程度不匹配导致冷却水剧烈沸腾时冷却管等零件在高压热水汽条件下爆裂。上述问题影响了生产效率和被加热氧化的PBN坩埚的良品率及成品质量。

因此，有必要设计一种新的冷却密封接头以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述技术问题，提出一种与加热装置紧密结合，冷却效果好的冷却密封接头。

为实现前述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种冷却密封接头，其包括一圆柱形主体以及贴设于主体下方的一层反辐射隔热垫，所述主体上开设有用于加热装置放置的若干放置孔，所述放置孔上下贯穿主体，所述主体上表面中心凸设有一提手，所述主体侧缘设置有若干紧固件，所述主体内设置一环形冷却水槽，所述主体侧壁设有若干冷却水接口，所述冷却水槽与冷却水接口连通。

作为本实用新型的进一步改进，所述主体上表面设置有若干槽道，所述若干放置孔通过槽道互相连通。

作为本实用新型的进一步改进，所述槽道内设置有若干线孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述主体上表面向放置孔内凸伸出若干卡齿。

作为本实用新型的进一步改进，所述主体侧边底部设有一凹槽。

本冷却密封接头在加热装置用于加热时，反辐射隔热垫能够减少热量逸出，降低高温辐射对冷却水槽内的冷却水的影响；同时，冷却水槽内的冷却水能够使得密封圈保持在低温，确保冷却密封接头的气密性和稳定性。

附图说明

图1为本实用新型冷却密封接头第一视角下的整体结构示意图。

图2为本实用新型冷却密封接头第二视角下的整体结构示意图。

图3为本实用新型冷却密封接头第三视角下的整体结构示意图。

图4为图3沿着A-A方向的剖面视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例对技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提出一种冷却密封接头100，其包括一圆柱形主体110以及贴设于主体下方的一层反辐射隔热垫120，所述主体110上开设有用于加热装置放置的若干放置孔111，所述放置孔111上下贯穿主体110，所述主体110上表面中心凸设有一提手112，所述主体110侧缘设置有若干紧固件113，所述主体内设置一环形冷却水槽114，所述主体110侧壁设有若干冷却水接口115，所述冷却水槽114与冷却水接口115连通。