[实用新型]硅棒夹持装置、硅棒转换装置及硅棒加工机

权利要求书

1.一种硅棒夹持装置，其特征在于，包括：

相对设置的第一夹持件和第二夹持件；以及

夹紧驱动机构，用于驱动所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者作横向移动以使得第一夹持件和第二夹持件将待加工的硅棒以横卧方式予以夹持。

2.根据权利要求1所述的硅棒夹持装置，其特征在于，所述夹紧驱动机构包括：

平移齿轨；

带有驱动动力源的驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述平移齿轨啮合且与所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者联动。

3.根据权利要求2所述的硅棒夹持装置，其特征在于，所述夹紧驱动机构还包括：锁定控制件，用于在所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者作横向移动并抵靠于所述硅棒时将所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者控制在锁定状态。

4.根据权利要求3所述的硅棒夹持装置，其特征在于，所述锁定控制件包括：

制动齿条；以及

带有制动动力源的制动元件，与所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者联动；所述制动元件受控于所述制动动力源而运动以卡抵于所述制动齿条。

5.根据权利要求4所述的硅棒夹持装置，其特征在于，所述制动元件中与所述制动齿条对应的卡抵处设有卡抵齿。

6.根据权利要求1所述的硅棒夹持装置，其特征在于，还包括：旋转驱动机构，用于驱动所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者作转动以带动夹紧的所述硅棒转动。

7.根据权利要求6所述的硅棒夹持装置，其特征在于，所述第一夹持件包括第一夹持底座和转动设于所述第一夹持底座上的第一夹持部，所述第二夹持件包括第二夹持底座和转动设于所述第二夹持底座上的第二夹持部，所述旋转驱动机构用于驱动所述第一夹持件中的第一夹持部以及所述第二夹持件中的第二夹持部中的至少一者作转动。

8.一种硅棒加工机，其特征在于，包括：

机座，具有硅棒加工平台；所述硅棒加工平台上设有至少一加工区位；

如权利要求1至7中任一项所述的硅棒夹持装置，用于将待加工的硅棒以横卧方式予以夹持；以及

硅棒研磨装置，设于所述硅棒加工平台的加工区位处，用于通过横向移动来对所述硅棒夹持装置以横卧方式夹持的硅棒进行研磨作业。

9.根据权利要求8所述的硅棒加工机，其特征在于，所述硅棒研磨装置包括：

承座，通过一横向移动机构相对所述硅棒加工平台作横向移动；

对向设置于所述承座上的至少一对磨具，用于在所述承座横向移动的带动下对位于加工区位处的硅棒夹持装置所夹持的硅棒进行研磨作业。

10.根据权利要求9所述的硅棒加工机，其特征在于，所述磨具通过一磨具进退机构而活动设于所述承座上。

11.根据权利要求8所述的硅棒加工机，其特征在于，还包括硅棒装卸装置，用于将待加工的硅棒装载至加工区位以及将完成研磨作业之后的硅棒自加工区位上卸载。

12.一种硅棒转换装置，其特征在于，包括：

输送本体；

设于所述输送本体上、如权利要求1至7中任一项所述的至少一硅棒夹持装置，用于将待加工的硅棒以横卧方式予以夹持；以及

转换驱动机构，用于驱动输送本体转动以带动所述硅棒夹持装置及其所夹持的硅棒在多个功能区位之间转换。