[实用新型]一种应用于半导体工艺的运输推车

说明书

本实用新型提供一种应用于半导体工艺的运输推车，包括车身由固定支架组成，固定支架的边缘设置滑槽，固定支架的底部设有滚轮；至少一支撑板，水平设置于固定支架上，每层支撑板的边缘设置与滑槽相匹配的滑块，每层支撑板上还设置一收纳室；驱动装置包括轴承及电机，轴承设置于每层支撑板的下方，电机驱动轴承带动滑块于滑槽内滑动，以带动每层支撑板运动；触控面板电连接驱动装置；防震装置，设置于固定支架与滚轮之间。有益效果在于：采用电机驱动和触控面板操作多层支撑板，并且每层支撑板上设置收纳室，便于分类收集小的半导体器件，车身底部设置防震装置与脚撑，起到防震效果和防止滑动的效果，使得运输推车的制动性和稳定性更好。

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种应用于半导体工艺的运输推车。

背景技术

在半导体工艺的制造过程中，半导体设备的零配件的尺寸越来越大，对于半导体装置和半导体器件的搬运过程中，全自动化操作是很难实现的，因此在搬运环节上存在隐患。

现有技术中通常是采用多层隔板的手推车来搬运，在手推车的设计结构上存在明显的缺陷，(1)每层隔板是固定不变的，工作人员在拿取半导体装置时不方便，甚至会造成半导体装置的损坏；(2)每层隔板的周围未设计保护结构，在运输过程中可能会造成半导体装置的滑落；(3)未设计防震装置，在制动或者推动过程中，会造成损坏；(4)未涉及小型的半导体器件的收纳装置，对于精密性高的半导体器件来说，会造成一定的污染，进一步地带来经济损失。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种应用于半导体工艺的运输推车。

具体技术方案如下：

一种应用于半导体工艺的运输推车，其中包括：

一车身，所述车身由固定支架组成，所述固定支架的边缘设置滑槽，所述固定支架的底部设有滚轮；

至少一支撑板，水平设置于所述固定支架上，每层所述支撑板的边缘设置与所述滑槽相匹配的滑块，每层所述支撑板上还设置一收纳室；

一显示控制装置，包括驱动装置、触控面板；

所述驱动装置包括轴承及电机，所述轴承设置于每层所述支撑板的下方，所述电机驱动所述轴承，所述轴承带动所述滑块于所述滑槽内滑动，以带动每层所述支撑板运动；

所述触控面板电连接所述驱动装置，以控制每层所述支撑板的水平移动或停止；

一防震装置，设置于所述固定支架与所述滚轮之间。

优选的，还包括一推车手柄，于所述支撑板上所述收纳室位于靠近所述推车手柄的一侧。

优选的，每层所述支撑板的边缘设有档杆。

优选的，所述电机为直流电机，具有可充电电源。

优选的，所述触控面板上还设置有开关按钮、前进按钮、后退按钮及停止按钮。

优选的，所述收纳室的侧面开设有开口。

优选的，所述滚轮至少设置为四个。

优选的，数量与所述滚轮对应的所述防震装置为硬性弹簧。

优选的，所述固定支架的底部还设置数量与所述滚轮对应的脚撑。

本实用新型的技术方案有益效果在于：采用多层支撑板，可以放置多种半导体装置，并且每层支撑板上设置收纳室，便于分类收集小的半导体器件，采用电机驱动和触控面板操作，进一步提高工作人员的工作效率，同时车身底部设置防震装置与脚撑，起到防震效果和防止滑动的效果，进一步使得运输推车的制动性和稳定性更好。

附图说明

图1为本实用新型中，关于运输推车的整体结构示意图。