[实用新型]一种智能真空镀膜机构

权利要求书

1.一种智能真空镀膜机构，用于对具有中心孔的薄板状工件(2)进行镀膜，该工件(2)的上表面贴附由薄膜，其特征在于，还包括：

处理炉(100)，该处理炉(100)具有空腔，其顶端设有该空腔连通的进料孔(102)，所述处理炉(100)包括位于所述进料孔(102)正下方并由第一升降装置驱动升降的升降平台(104)，位于所述处理炉(100)内的加热器(106)以及用于对处理炉内进行抽气的抽空泵，所述升降平台(104)的水平最大直线尺寸小于所述进料孔(102)的直径；

供料机构(200)，其位于所述处理炉(100)的一侧，所述供料机构(200)用于所述工件(2)的水平放置；

收料机构(300)，其位于所述处理炉(100)的另一侧，所述收料机构(300)设有用于所述工件(2)水平放置的支撑台；

位于所述处理炉(100)与所述供料机构(200)之间的第一传输装置(400)，所述第一传输装置(400)包括能够做升降运动和旋转运动的第一连接板(402)、设置在所述第一连接板(402)两端的第一真空盖(404)，以及设置在所述第一真空盖(404)底部，用于吸附与之接触的所述工件(2)的吸盘(406)，所述第一真空盖(404)能够分别运动至所述供料机构(200)与所述进料孔(102)的正下方，所述第一真空盖(404)通过插入所述进料孔(102)或者与所述进料孔(102)端面贴合从而将所述进料孔(102)闭塞；

位于所述处理炉(100)与所述收料机构(300)之间的第二传输装置(500)，所述第二传输装置(500)包括能够做升降运动和旋转运动的第二连接板(502)、设置在所述第二连接板(502)两端的第二真空盖(504)，以及设置在所述第二真空盖(504)底部，用于吸附所述工件(2)的吸盘(406)，所述第二真空盖(504)能够分别运动至所述收料机构(300)与所述进料孔(102)的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述第一传输装置(400)和第二传输装置(500)均包括：

用于所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)在竖直方向上的支撑，并能够驱动所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)做升降运动的第二升降装置(4)；

固定连接在所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)底部的套管(6)，该套管(6)为空心环状结构，其内壁转动连接在所述第二升降装置(4)的顶部；

用于驱动所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)做定角度、间歇旋转运动的旋转机构(10)。

3.根据权利要求2所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述第二升降装置(4)为气缸或者油缸，其包括：

缸体(12)；

能够部分伸出所述缸体(12)的缸臂(14)，所述缸臂(14)的顶部通过转动轴承(16)连接在所述套管(6)内部。

4.根据权利要求3所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述旋转机构(10)包括：

固定设置的伺服电机(18)，该伺服电机(18)能够驱动电机轴(20)做180度定角度间歇运动；

同轴心、固定连接在所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)上的输出轴(22)，所述输出轴(22)与电机轴(20)通过传动齿轮传动连接。

5.根据权利要求4所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述第一真空盖(404)底部为方形平台结构，其通过与所述进料孔(102)顶部平面接触使得所述进料孔(102)封闭。

6.根据权利要求5所述的一种智能真空镀膜机构，其特征在于，所述处理炉(100)的内壁上设有一环形凸台(108)，该环形凸台(108)位于升降平台(104)的下方，所述升降平台(104)底部与所述环形凸台(108)的顶部接触时，能够将所述处理炉(100)的内腔分割成两个封闭的空间，所述真空泵位于所述环形凸台(108)上方的所述空间内。