[实用新型]一种电磁驱动双稳态光开关

说明书

本实用新型公开了一种电磁驱动双稳态光开关，包括：光开关边框；设置于所述光开关边框内部镂空区域的可动中央平台；可扭转的连接所述可动中央平台和所述光开关边框的一对扭梁，所述一对扭梁沿所述可动中央平台的中心线对称分布；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一驱动线圈和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二驱动线圈；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一组软磁条和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二组软磁条；设置在所述一对扭梁上的一对引线，所述一对引线的第一引线电连接第一驱动线圈至第一外部电极，所述一对引线的第二引线电连接第二驱动线圈至第二外部电极；以及第一限位结构和第二限位结构。

技术领域

本实用新型涉及微机电系统(MEMS)领域，尤其涉及一种电磁驱动的双稳态MEMS光开关。

背景技术

20世纪90年代以来，光通信技术得到了快速的发展，尤其是2000年以后，随着各类移动消费类电子产品的迅猛发展，移动消费类电子产品对网络通信的速度、延迟等质量要求越来越高，而光通信技术很好的满足了相应需求，从而进一步促进了其应用。

作为光通信关键环节的光互连与光开关的地位也变得越来越重要，传统的以电为核心的开关已不能满足高速、大容量光通信的需求。尤其是全光传输网，取而代之的是全光开关，全光开关是以光为核心实现光的通断和交互连接的系统部件，在工作时，不存在光电的转换，先天的优势促使其逐渐成为传统开关的替代者。

光开关为了满足日益进步的光通信技术要求，必须具备低损耗、高稳定的特征，同时在移动通信中的应用，又需要满足低功耗的要求。随着微机电系统(MEMS)技术的发展，出现了MEMS光开光，它与通常的MEMS产品一样，具有体积小、成本低、易集成、稳定性好以及容量大等特点。而现有的MEMS光开关一般采用静电、电致、磁致、形状记忆合金、热等驱动原理来驱动微镜进行升降、旋转等移动来改变光路实现，普遍存在驱动过程中微镜偏转角度较小，微镜偏转后的状态保持需要持续负载，从而导致光开关功耗较高等问题。

因此，需要一种新型的MEMS光开，关至少部分的解决以上问题，从而满足市场的需求。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，根据本实用新型的一个实施例，提供一种电磁驱动双稳态光开关，包括：光开关边框；设置于所述光开关边框内部镂空区域的可动中央平台；可扭转的连接所述可动中央平台和所述光开关边框的一对扭梁，所述一对扭梁沿所述可动中央平台的中心线对称分布；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一驱动线圈和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二驱动线圈；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一组软磁条和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二组软磁条；设置在所述一对扭梁上的一对引线，所述一对引线的第一引线电连接第一驱动线圈至第一外部电极，所述一对引线的第二引线电连接第二驱动线圈至第二外部电极；以及第一限位结构和第二限位结构，所述第一限位结构和第二限位结构用于限制所述可动中央平台的偏转角度。

在本实用新型的一个实施例中，所述可动中央平台的背面设置有反射镜。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一驱动线圈和所述第二驱动线圈的绕线方向相反，在通电时产生方向相反的电磁场。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一组软磁条设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一驱动线圈的外侧，且与扭梁垂直。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二组软磁条设置在所述可动中央平台正面第二侧的第二驱动线圈的外侧，且与扭梁垂直。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一限位结构为第一止挡桥，所述第二限位结构为第二止挡桥。

在本实用新型的一个实施例中，电磁驱动双稳态光开关还包括设置在所述可动中央平台上方和/或下方的永磁体，所述永磁体用于产生与所述可动中央平台基本垂直的偏置磁场。