[实用新型]气体分析设备、校正设备及其气体处理装置

说明书

本实用新型公开了一种气体分析设备、校正设备及其气体处理装置，用以处理环境气体，包括壳体、第一缓冲槽、供气压缩泵、除水器、微粒过滤器以及储气槽。第一缓冲槽及供气压缩泵设于该壳体之中，其中，供气压缩泵从该壳体外吸取该环境气体，并导入至第一缓冲槽。除水器连通第一缓冲槽，并去除该环境气体的水分。微粒过滤器连通第一缓冲槽，并去除该环境气体中的微粒。该环境气体经过除水器以及微粒过滤器处理后成为洁净气体，该洁净气体被导入及存放于储气槽之中，并利用压力感应开关来控制启动/停止供气压缩泵。该实用新型具有结构简单、使用方便、分析精度高的特点。

技术领域

本实用新型涉及气体处理技术领域，具体是一种气体分析设备、校正设备及其气体处理装置。

背景技术

现有半导体生产车间的洁净气体大都是统一储存在特定的储存槽内，并通过车间管路，在车间的特定地点提供。由于气体分析仪、校正器等设备均需要使用洁净气体，因此在通常情况下，气体分析仪等设备仅能在车间的特定地点使用，造成使用上的不便，也形成了检测上的死角。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便、分析精度高的气体分析设备、校正设备及其气体处理装置。

为了实现上述目的，本实用新型一种气体处理装置，包括壳体，第一缓冲槽，设于所述壳体之中；供气压缩泵，设于所述壳体之中，其中，供气压缩泵从所述壳体外吸取环境气体，并将环境气体导入至所述第一缓冲槽；除水器，设于所述壳体之中，连通所述第一缓冲槽，并去除所述环境气体的水分；微粒过滤器，设于所述壳体之中，连通所述第一缓冲槽，并去除环境气体中的微粒；储气槽，设于所述壳体之中，其中，环境气体经过所述除水器以及微粒过滤器处理后成为一洁净气体，洁净气体被导入及存放于所述储气槽之中。

上述的气体处理装置，其中，所述储气槽内的气体压力大于1大气压。

上述的气体处理装置，其中，还包括滚轮，设于所述壳体底部。

上述的气体处理装置，其中，还包括环形管，设于所述壳体之中，并连通所述第一缓冲槽。

上述的气体处理装置，其中，还包括卸水储水瓶，所述卸水储水瓶连接所述除水器。

上述的气体处理装置，其中，还包括干燥器，设于所述壳体之中。

上述的气体处理装置，其中，还包括控制单元，所述控制单元根据所述储气槽所提供气体压力，控制所述供气压缩泵的运作。

一种气体分析设备，包括：

上述气体处理装置；

气体分析仪，连通所述储气槽，所述气体处理装置对所述气体分析仪供应所述洁净气体。

上述的气体分析设备，其中，还包括第二缓冲槽以及真空泵，所述第二缓冲槽连通所述气体分析仪，所述真空泵连接所述第二缓冲槽。

一种校正设备，包括：

上述气体处理装置；

校正器，连通所述储气槽，所述气体处理装置对所述校正器供应所述洁净气体。

上述的校正设备，其中，还包括第二缓冲槽以及真空泵，所述第二缓冲槽连通所述校正器，所述真空泵连接所述第二缓冲槽。

本实用新型中，由于将第一缓冲槽、供气压缩帮浦、除水器、微粒过滤器、环形管、干燥器、卸水储水瓶以及储气槽等组件整合在气体处理装置之中，因此可在车间各处将环境气体净化为洁净气体，并将该洁净气体供分析仪、校正器等装置使用。

实用新型的有益效果是：结构简单、使用方便、分析精度高。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明