[实用新型]一种音圈电机驱动的高精度Z轴结构

权利要求书

1.一种音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，包括：

负载板；

音圈电机，所述音圈电机包括音圈电机转子和音圈电机定子，所述音圈电机转子与所说负载板连接；

固定板，所述固定板与所述音圈电机定子连接。

2.根据权利要求1所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，还包括导轨副，所述导轨副包括滑块和滑轨，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述滑块一端与所述固定板连接，所述滑轨一端与所述负载板连接。

3.根据权利要求2所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，所述导轨副分别设有四个，四个所述导轨副均匀设置在所述固定板上。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，还包括断电保持装置，所述断电保持装置用于在所述音圈电机断电时支撑所述负载板。

5.根据权利要求4所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，所述断电保持装置包括压缩弹簧、弹簧导座和弹簧导杆；所述弹簧导座与所述固定板连接，所述压缩弹簧设置在所述弹簧导座内，弹簧导杆设置在压缩弹簧内，所述弹簧导杆一端与所述负载板连接。

6.根据权利要求5所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，所述断电保持装置分别设有两个，两个所述断电保持装置分别设置在所述固定板的临近两侧的位置。

7.根据权利要求2所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，还包括光栅反馈装置，所述光栅反馈装置用于所述负载板位移高度定位。

8.根据权利要求7所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，所述光栅反馈装置包括光栅尺和光栅尺固定板，所述光栅尺设置在所述滑块上，所述光栅尺固定板一端与所述负载板连接。

9.根据权利要求1所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，所述音圈电机转子与所说负载板的中心位置连接。

10.根据权利要求2所述的音圈电机驱动的高精度Z轴结构，其特征在于，还包括限位装置，所述限位装置包括：上限位块和下限位块，所述上限位块与所述固定板连接，所述下限块与所述滑轨连接；所述上限位块位倒L结构，用于限制所述下限块位移高度。