[实用新型]一种真空腔室腔内升降机构有效
| 申请号： | 201820668761.8 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN208250461U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 朱海剑;庄正军;丁建宁;袁宁一;上官泉元 | 申请（专利权）人： | 常州比太黑硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 张红;程立民 |
| 地址： | 213164 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空腔室 升降机构 升降轴 腔内 本实用新型 对称安装 腐蚀气体 密封环境 驱动气体 上下动作 升降动作 外部气体 动密封 密封套 同步性 气缸 载板 保证 | ||
1.一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，包括安装于真空腔室的腔室底板外侧的固定底座，所述固定底座上安装有气缸，所述气缸驱动有升降轴，所述升降轴的一端通过所述腔室底板伸入所述真空腔室内部且端部设置有对应载板的顶板；
所述固定底座与腔室底板之间以及所述固定底座与升降轴之间均设置有密封组件以防止外部气体进入所述真空腔室的内部。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，所述固定底座内部设置有套设在所述升降轴外部的密封套以用于所述固定底座与升降轴之间的密封，且所述密封套的一端具有位于所述固定底座与腔室底板之间的环形凸台以用于所述固定底座与腔室底板之间的密封。
3.根据权利要求2所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，所述密封套与升降轴之间设置有O型圈一，所述密封套的环形凸台与腔室底板之间设置有O型圈二。
4.根据权利要求3所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，所述密封套与升降轴之间还设置有Y型密封圈。
5.根据权利要求4所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，所述Y型密封圈位于所述O型圈一与O型圈二之间。
6.根据权利要求5所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于， 所述O型圈一、O型圈二及Y型密封圈的材质为氟橡胶。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，所述升降轴的表面喷涂有一层特氟龙。
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