[实用新型]一种多用途立式管式炉

权利要求书

1.一种多用途立式管式炉，其特征在于：主要由炉体部分和真空及气氛控制系统组成；

所述炉体部分主要包括升降装置、内炉管、外炉管、坩埚和加热元件；内炉管悬挂设置在外炉管中，上端与升降装置连接；坩埚设置在内炉管的底部；加热元件设置在外炉管的外周；

所述真空及气氛控制系统主要包括机械泵、扩散泵、气瓶；内炉管的上端连接连通器，连通器分别和波纹管和第一管道连通；第一管道分别接通第二管道和第三管道，第三管道和气瓶连通；第二管道与外界大气连通；波纹管的另一端通过管道分别与扩散泵和机械泵连通。

2.根据权利要求1所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述立式管式炉还包括等离子体发射装备；等离子体发射装备由等离子体发射源和加热盒连接组成，加热盒套装在外炉管外周，加热盒与等离子体发射源连接，等离子体发射源与外界电源连接。

3.根据权利要求1所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述波纹管的另一端通过管道分别与扩散泵与机械泵连通是指波纹管的另一端连接到第五管道；第四管道由相互连通的三段组成，第一段与第五管道连通，第二段与扩散泵连通，第三段与机械泵连通。

4.根据权利要求1所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述内炉管的上端通过第一卡箍连接连通器。

5.根据权利要求1或4所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述连通器为四通装置。

6.根据权利要求5所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述四通装置分别通过第二卡箍、第三卡箍和第四卡箍连接波纹管、压力表和第一管道。

7.根据权利要求1所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述第一管道分别通过第六阀门和第五阀门接通第二管道和第三管道。

8.根据权利要求3所述的多用途立式管式炉，其特征在于：第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门分别设置在第五管道、第四管道的第一段、扩散泵和第四管道的第二段上。

9.根据权利要求1所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述扩散泵上装有电离规管和第六管道，第六管道环绕在扩散泵，第六管道的上端和下端分别连接水管。

10.根据权利要求1所述的多用途立式管式炉，其特征在于：所述外炉管的底部设有可伸缩支架；上端升降装置设有标尺和指针；所述加热元件为硅钼棒。