[实用新型]坩埚护板

说明书

本实用新型提供了一种坩埚护板，包括板体、导热板、第一装配板和第二装配板，板体上端设有限流孔，限流孔包括排气孔和进气孔，进气孔背向石英坩埚设置，排气孔的孔径小于进气孔的孔径，且进气孔的孔径从与板体外壁的接触端朝向进气孔依序减小，排气孔的内壁上设有限流柱，限流柱背向排气孔的内壁凸起，导热板的两侧与板体的本体贴合，本实用新型通过排气孔和进气孔的设计，有效的降低了坩埚护板与石英坩埚之间的接触面积，降低了因坩埚护板与石英坩埚接触所产生的二氧化碳气体，同时，通过排气孔的孔径小于进气孔的孔径设计，减少了外部二氧化碳气体朝向石英坩埚的流通，从而达到降低硅锭碳含量，最终降低硅片中碳含量的效果。

技术领域

本实用新型涉及坩埚技术领域，特别涉及一种坩埚护板。

背景技术

随着时代的发展人们生活水平的不断提高，人们对太阳能的使用越来越频繁，其中太阳能电池的使用尤为普遍，目前太阳能电池占据着光伏产业的主导地位，而在太阳能电池中硅片的成本占到了单/多晶体硅成本的一半以上，因此降低硅片的成本，提高硅片的质量，对于光伏行业的发展有着极其重要的意义，在硅片的生产过程中，通过半熔工艺铸锭的硅锭、硅片的质量及效率都更佳。

在利用铸锭炉采用半熔工艺生长铸造多晶晶体时，需要利用石英坩埚作为容器将硅料装在坩埚中放在铸锭炉中进行铸锭，石英陶瓷坩埚属于该产业链中必须使用的容器，而坩埚护板作为铸锭过程包裹坩埚的必须品，在整个铸锭过程中也起到了相当重要的作用。

目前多晶铸锭热场环境均是碳环境，坩埚护板是直接与坩埚接触导热保温，坩埚护板在高温条件下，与石英坩埚接触会发生干性反应产生二氧化碳，产生的二氧化碳将会进入到硅液中，同时，铸锭炉的碳的氧化物CO或CO₂通过护板孔洞进入到坩埚的硅料中，最终增加了硅锭的碳含量，降低了硅锭的质量。

实用新型内容

基于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种能有效降低二氧化碳进入到坩埚内硅液中的坩埚护板。

一种坩埚护板，包括板体、设于所述板体内的导热板和分别设于所述板体对立侧壁上的第一装配板和第二装配板，所述板体上端设有限流孔，所述限流孔包括朝向石英坩埚设置的排气孔和与所述排气孔相连通的进气孔，所述进气孔背向所述石英坩埚设置，所述排气孔的孔径小于所述进气孔的孔径，且所述进气孔的孔径从与所述板体外壁的接触端朝向所述进气孔依序减小，所述排气孔的内壁上设有限流柱，所述限流柱背向所述排气孔的内壁凸起，所述限流柱用于降低所述排气孔的孔径，所述排气孔用于通过采用小孔径的方式以降低所述进气孔朝向所述石英坩埚输送的二氧化碳气体，所述导热板的两侧与所述板体的内壁贴合，所述导热板用于对所述石英坩埚进行均匀导热。

上述坩埚护板，通过所述排气孔和所述进气孔的设计，有效的降低了所述坩埚护板与所述石英坩埚之间的接触面积，降低了因所述坩埚护板与所述石英坩埚接触所产生的二氧化碳气体，同时，通过所述排气孔的孔径小于所述进气孔的孔径设计，减少了外部二氧化碳气体朝向所述石英坩埚的流通，从而达到降低硅锭碳含量，最终降低硅片中碳含量的效果。

进一步地，所述导热板包括依序连接的第一挡板、第二挡板、第三挡板和第四挡板，所述第一挡板和所述第三挡板均与所述板体的内壁贴合，所述第二挡板和所述第三挡板上均设有多个导热孔。

进一步地，所述第一装配板和所述第二装配板的侧表面上分别设有螺栓孔和固定螺栓，所述螺栓孔和所述固定螺栓相匹配。

进一步地，所述板体下端侧壁和下端底面上分别对应设有安装孔和溢流槽，所述溢流槽采用椭圆形结构并朝向所述板体的内部凹陷。

进一步地，所述进气孔和所述排气孔的内壁均采用弧形凹陷结构，且所述排气孔朝向内部凹陷，所述进气孔朝向外部凹陷。

进一步地，所述排气孔的深度小于所述进气孔的深度，且所述排气孔与所述进气孔之间的深度和等于所述板体的厚度。