[实用新型]一种多工位移动型显微镜检测设备

权利要求书

1.一种多工位移动型显微镜检测设备，包括底座，其特征在于：所述底座表面设有输送硅晶片的输送装置，端部设有用于装夹硅晶片的定位夹具，侧部设有控制箱，所述控制箱内侧固定连接有架于输送装置上方的固定桥臂，所述桥臂端部连接有多功能显微镜，所述多功能显微镜正对于输送装置；

所述输送装置包括与定位夹具背面固定连接的沿Y轴轴向运动的Y轴运动机构、与Y轴运动机构固定连接的沿Z轴轴向运动的Z轴运动机构以及架设于底座表面的沿X轴轴向运动的X轴运动机构，所述X轴运动机构两侧设有手动滑动机构，所述Y轴运动机构包括固定连接于定位夹具背面的第一滑块，所述第一滑块底部与Y轴滑轨滑动连接，所述Y轴滑轨设于定位夹具底部，且滑道设于定位夹具内侧，所述第一滑块背面与Z轴滑轨滑动连接，所述Z轴运动机构包括设于定位夹具外侧的Z轴滑轨，所述Z轴滑轨竖直设置，且其表面滑动连接第一滑块，所述X轴运动机构包括正对于定位夹具出口的X轴滑轨，所述X轴滑轨表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块表面固定连接有用于吸附硅晶片的吸附夹具，所述手动滑动机构包括设于X轴滑轨两侧的滑动平台，所述滑动平台沿X轴轴向设置，其底部设有用于驱使滑动平台滑动的移动盘，所述移动盘底部设有支撑架，所述支撑架置于底座上方，所述滑动平台底部设有L形连接块，所述L形连接块前端设有促使滑动平台移动的手动启动按钮。

2.根据权利要求1所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述定位夹具包括盛放硅晶片的盒体，盒体表面设有盒盖，盒体侧部设有沟形插槽，沟形插槽内插设有阻挡板，阻挡板表面固定连接于第一滑块内侧。

3.根据权利要求1所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述吸附夹具包括固定于第二滑块表面截面成L形的陶瓷基底，陶瓷基底前端上、下表面均设有多个密集微孔，陶瓷基底后端通过螺钉与第二滑块固定连接，密集微孔内填充有用于吸附硅晶片的硅胶。

4.根据权利要求1所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述控制箱内侧设有用以显示测试结果的数据显示屏。

5.根据权利要求4所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述控制箱内部设有用于传输数据的RS232C通信数据接口以及电源。

6.根据权利要求1所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述多功能显微镜底部设有快换目镜机构，快换目镜机构包括设于显微镜底部的旋转盘，旋转盘均布有多个目镜。

7.根据权利要求6所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述多功能显微镜内设有光栅尺，光栅尺包括设于焦面板上的米字线和虚线。

8.根据权利要求7所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述多功能显微镜内还设有焦点追踪器，使显微镜始终对准焦点。

9.根据权利要求1所述的多工位移动型显微镜检测设备，其特征在于：所述桥臂底部设有用于感应硅晶片的感应器。