[实用新型]一种能够提高镀膜均匀性的石墨载具有效

申请号：	201820681766.4	申请日：	2018-05-09
公开（公告）号：	CN208336169U	公开（公告）日：	2019-01-04
发明（设计）人：	韩晓辉;秦积海	申请（专利权）人：	晋能清洁能源科技股份公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673;H01L21/67;H01L31/18
代理公司：	镇江京科专利商标代理有限公司 32107	代理人：	夏哲华
地址：	032100 山***	国省代码：	山西;14
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摘要：
搜索关键词：	支撑架石墨舟太阳能晶硅电池片镀膜均匀性石墨载具膜层厚度均匀性本实用新型横向并列膜层沉积陶瓷支撑有效控制支撑固定逐渐缩小不均匀沉积炉对膜层沉积分隔装载支撑表现
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【权利要求书】：

1.一种能够提高镀膜均匀性的石墨载具，包括沉积炉，沉积炉内设置有若干横向并列设置的能够装载太阳能晶硅电池片(1)的石墨舟，每片石墨舟通过支撑架支撑固定，相邻支撑架之间通过陶瓷支撑套(2)分隔支撑，其特征在于：所述每片支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)与相邻支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)之间距离不均匀，位于外侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)之间距离大于位于内侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)架之间距离。

2.根据权利要求1所述能够提高镀膜均匀性的石墨载具，其特征在于：所述位于外侧的第一根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)与第二根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)之间距离最大，位于内侧的最后一根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)与倒数第二根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)之间距离最小；外侧第一根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)与第二根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)之间距离至内侧最后一根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)与倒数第二根支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)之间距离依次缩小。

3.根据权利要求1所述能够提高镀膜均匀性的石墨载具，其特征在于：所述相邻支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)之间距离变化由陶瓷支撑套(2)长度分隔支撑构成。

4.根据权利要求1所述能够提高镀膜均匀性的石墨载具，其特征在于：所述陶瓷支撑套(2)的长度变化系数为：

……以此类推。

5.根据权利要求1所述能够提高镀膜均匀性的石墨载具，其特征在于：所述……值由传统等长度陶瓷支撑套造成的太阳能晶硅电池片镀膜层变化规律计算得出补偿系数。

6.根据权利要求1所述能够提高镀膜均匀性的石墨载具，其特征在于：所述沉积炉为等离子体增强化学气相沉积炉。

7.根据权利要求1所述能够提高镀膜均匀性的石墨载具，其特征在于：所述沉积炉内并列设置有240片石墨舟，支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片(1)为常规P型156多晶硅片。

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