[实用新型]恒压体系装置

说明书

本实用新型涉及恒压体系装置，包含通过管路依次串接的正压罐、恒压罐以及负压罐，正压罐上连接惰性气体管路，恒压罐上连接尾气管路，负压罐通过管路连接真空泵的进口，真空泵的出口连接吸收塔，吸收塔上的出气口通过管路连接滤油棉装置的进口，滤油棉装置的出口连接风机的进风口，风机的出风口与大气相通。使尾气排放至恒压罐内，保持尾气在一定的恒压压力范围内，保证稳定的生产环境，再经抽空后由尾气处理系统处理后排放至大气中；实现现场作业和远程控制，自动操作和自动报警提示，可根据实际情况，处理不同压力条件下的尾气。

技术领域

本实用新型涉及一种恒压体系装置。

背景技术

目前，高纯金属有机化合物(MO源)是现代化合物半导体产业的支撑源材料，是半导体照明(LED)产业链的源头材料；其主要应用于移动设备的背光源、液晶显示器背光源、半导体激光器及航天高效太阳能电池等高端军品技术领域、信号灯、汽车照明和半导体照明灯光电子技术领域。

MO源是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，能生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。

MO源具有非常活泼的化学性质，对空气和水极为敏感，在空气中能瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。所以，MO源的生产全过程就需要在密闭且无水、无氧的环境下进行。

在现行的技术中，MO源的尾气是直接通过管路排放在无水、无氧的充满惰性气体的手套箱内，而手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，经循环过滤箱体气体中的活性物质的实验室设备，箱体承受压力较低。MO源的部分种类具有易挥发性，会使手套箱内MO源气氛，这就使手套箱的净化能力下降，需要经常更换净化系统。

MO源市场的快速发展，其相关技术应用领域越来越大，大规模生产MO源应运而生，其尾气处理不能满足规模化生产，并且现在环保要求越来越高。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种恒压体系装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

恒压体系装置，特点是：包含通过管路依次串接的正压罐、恒压罐以及负压罐，所述正压罐上连接惰性气体管路，恒压罐上连接尾气管路，负压罐通过管路连接真空泵的进口，真空泵的出口连接吸收塔，吸收塔上的出气口通过管路连接滤油棉装置的进口，滤油棉装置的出口连接风机的进风口，风机的出风口与大气相通。

进一步地，上述的恒压体系装置，其中，所述吸收塔内装有吸收液，一循环泵的进口通过管路与吸收塔的下口相连通，循环泵的出口通过管路与吸收塔的上口相连通，下口位于吸收液液面之下，上口位于吸收液液面之上。

进一步地，上述的恒压体系装置，其中，所述正压罐与恒压罐之间的连接管路以及恒压罐与负压罐之间的连接管路上均设有阀门。

进一步地，上述的恒压体系装置，其中，正压罐与惰性气体管路的连接管道上设有阀门。

进一步地，上述的恒压体系装置，其中，恒压罐与尾气管路的连接管道上设有阀门。

进一步地，上述的恒压体系装置，其中，所述正压罐、恒压罐以及负压罐均设有紧急排空管路。

本实用新型与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：

该装置使尾气排放至恒压罐内，保持尾气在一定的恒压压力范围内，保证稳定的生产环境，再经抽空后由尾气处理系统处理后排放至大气中。实现现场作业和远程控制，自动操作和自动报警提示，可根据实际情况，处理不同压力条件下的尾气。

附图说明