[实用新型]同心修正装置及其镀膜机有效
申请号: | 201820697158.2 | 申请日: | 2018-05-09 |
公开(公告)号: | CN208218945U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 张鹏;阮春林 | 申请(专利权)人: | 东莞市天瞳电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;王志 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 修正区域 修正装置 镀膜伞 同心 本实用新型 修正机构 承载台 受热膨胀 镀膜机 修正 光学薄膜 厚度均匀 成品率 同心的 承载 | ||
本实用新型提供了一种同心修正装置,适于同心修正受热膨胀的镀膜伞,其包括承载台及修正机构,所述修正机构连接所述承载台,所述修正机构于所述承载台上围成修正区域,所述镀膜伞置于所述修正区域内,所述修正区域呈同心的修正受热膨胀的所述镀膜伞,藉由所述修正区域,所述镀膜伞恒位于所述承载台的中心位置;本实用新型的同心修正装置的结构简单、便于形成厚度均匀的光学薄膜、成品率高;本实用新型还公开了一种具有上述同心修正装置的镀膜机。
技术领域
本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域,尤其涉及一种同心修正装置及其镀膜机。
背景技术
目前,光学薄膜行业内采用镀膜机制造光学薄膜,其原理是通过蒸镀源将光学薄膜材料气化成分子结构后喷射至开设有镀膜单元的镀膜伞,镀膜伞通过不断的旋转以使得气化后的光学薄膜材料在镀膜单元固化生成光学薄膜。然而,镀膜机在制造光学薄膜时内部呈高温状态,镀膜伞在其高温状态下会受热膨胀,由于用于固定镀膜伞的固定架与镀膜伞的热膨胀系数不完全相同,镀膜伞在受热膨胀过程中,不能始终保持与固定架的完全配合,导致镀膜伞因热膨胀变大而受到固定架的挤压,使得镀膜伞与固定架分离和/或形成于镀膜单元上的光学薄膜因镀膜伞受到固定架的挤压变形而脱落于镀膜单元,造成大量的光学薄膜残次品。
即便镀膜伞没有因热膨胀而直接与固定架产生挤压,但是,由于镀膜伞的热膨胀使得镀膜伞不是始终位于固定架的中心位置,不能保证蒸镀源将光学薄膜材料气化成分子结构后均匀的喷射至镀膜伞的不同镀膜单元上,容易造成生成于镀膜单元上的光学薄膜厚度不均匀,影响光学薄膜的质量。
因此,亟需一种结构简单、便于形成厚度均匀的光学薄膜、成品率高的同心修正装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单、便于形成厚度均匀的光学薄膜、成品率高的同心修正装置。
本实用新型的另一目的在于提供一种结构简单、便于形成厚度均匀的光学薄膜、成品率高的镀膜机。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种同心修正装置,适于同心修正受热膨胀的镀膜伞,其包括承载台及修正机构,所述修正机构连接所述承载台,所述修正机构于所述承载台上围成修正区域,所述镀膜伞置于所述修正区域内,所述修正区域呈同心的修正受热膨胀的所述镀膜伞,藉由所述修正区域,所述镀膜伞恒位于所述承载台的中心位置。
较佳地,所述承载台呈环形结构,所述环形结构从内到外分别形成第一台阶及第二台阶,所述第二台阶将所述镀膜伞限位于所述第一台阶。
较佳地,所述第二台阶的内径大于所述第一台阶的外径,所述第二台阶的高度大于所述第一台阶的高度。
较佳地,所述修正机构包括修正件,所述修正件分布于所述第一台阶,所述修正件于所述第一台阶围成所述修正区域。
较佳地,所述修正件与所述镀膜伞的外缘形成修正空隙,所述镀膜伞受热时朝向所述修正空隙膨胀,所述修正件将所述镀膜伞因膨胀而超出所述修正空隙的部分限位于所述修正空隙内,藉由所述修正件,所述镀膜伞恒位于所述承载台的中心位置。
较佳地,所述第一台阶贯穿设置有供所述修正件插入固定的修正孔。
较佳地,所述修正件与所述修正孔呈螺纹配合。
较佳地,所述修正件均匀分布于所述第一台阶上。
相应地,本实用新型还公开了一种镀膜机,其包括壳体、镀膜伞及同心修正装置,所述壳体呈中空结构形成蒸镀腔,所述镀膜伞贯穿设置有镀膜单元,所述同心修正装置如权利要求1-8中任一项所述,所述同心修正装置呈旋转的悬挂于所述蒸镀腔内,所述镀膜伞置于所述修正区域,所述同心修正装置带动所述镀膜伞呈同步的于所述蒸镀腔内旋转,镀膜时位于所述镀膜伞下方的蒸镀源形成的气体直接喷射于所述镀膜单元而形成光学薄膜。
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