[实用新型]一种铂金通道测温热电偶装置有效
申请号: | 201820698756.1 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN208399035U | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 王庚 | 申请(专利权)人: | 彩虹集团有限公司 |
主分类号: | G01K7/02 | 分类号: | G01K7/02 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 712000*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铂金通道 陶瓷基片 固定支架 热电偶 测温热电偶装置 负极偶丝 正极偶丝 结合点 热端 体内 本实用新型 表面连接 测温误差 端部连接 密封连接 温度测量 信号干扰 测温端 伸出腔 体外 紧贴 穿过 | ||
本实用新型提供一种TFT铂金通道测温热电偶装置,热电偶测温端与铂金通道表面之间直接接触,解决了测温误差及信号干扰的问题,温度测量准确。包括铂金通道、陶瓷基片、陶瓷基片固定支架和热电偶;陶瓷基片固定支架的边缘与铂金通道的外表面密封连接,且陶瓷基片固定支架和铂金通道之间形成一腔体;陶瓷基片位于腔体内且与陶瓷基片固定支架上与铂金通道相对的表面连接;热电偶的正极偶丝和负极偶丝在端部连接形成热端结合点,热端结合点位于腔体内且紧贴铂金通道的外表面;热电偶的正极偶丝和负极偶丝分别依次穿过从陶瓷基片和陶瓷基片固定支架伸出腔体外。
技术领域
本实用新型属于玻璃基板生产领域,涉及铂金管来料通道的温度测量,具体为一种铂金通道测温热电偶装置。
背景技术
在TFT的生产中,玻璃温度的稳定至关重要,关系到玻璃液的流量大小、玻璃基板的厚度以及产品的其他技术参数的稳定。所以必须可靠地检测玻璃的温度高低,现在采用通过在来料通道铂金本体上焊接一个铂金片,把一对热电偶偶丝焊接在铂金片上,通过玻璃液流过铂金通道时,铂金片温度变化来反映玻璃液的温度,做为工艺技术人员调整工艺参数的依据。
铂金通道本体需进行浇注,热电偶偶丝焊接在来料通道铂金本体外表面上,如图1所示,采用该方法,通过在铂金通道本体上焊接一个铂金片,把偶丝弯成“L”型焊接在铂金片上,玻璃液流过铂金通道时,铂金片温度变化来间接反映玻璃液的温度。这种方法存在以下缺点,热电偶测温端不能和铂金通道的表面良好接触,测温误差大;铂金通道本体本身是控制玻璃液温度的加热器,会在铂金片上有压降,产生信号的干扰;这样使得测得的温度不准确,给工艺技术人员进行工艺参数的调整造成很大困难,很大程度上依靠经验及其他参数进行综合的权衡考虑,再采取相应的对策方法,无法保证温度调整完全复合生产要求。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题,本实用新型提供一种铂金通道测温热电偶装置,热电偶测温端与铂金通道表面之间直接接触,解决了测温误差及信号干扰的问题,温度测量准确。
本实用新型是通过以下技术方案来实现:
一种铂金通道测温热电偶装置,包括铂金通道、陶瓷基片、陶瓷基片固定支架和热电偶;
陶瓷基片固定支架的边缘与铂金通道的外表面密封连接,且陶瓷基片固定支架和铂金通道之间形成一腔体;陶瓷基片位于腔体内且与陶瓷基片固定支架上与铂金通道相对的表面连接;
热电偶的正极偶丝和负极偶丝在端部连接形成热端结合点,热端结合点位于腔体内且紧贴铂金通道的外表面;热电偶的正极偶丝和负极偶丝分别依次穿过从陶瓷基片和陶瓷基片固定支架伸出腔体外。
优选的,腔体内采用隔离材料进行填充密封,用于将热电偶的测温端与空气隔离。
进一步的,隔离材料为瓷粉。
优选的,位于腔体外的正极偶丝和负极偶丝外分别套设有瓷珠。
优选的,瓷珠外套设套管,套管材质为硅酸铝。
优选的,陶瓷基片固定支架、正极偶丝和负极偶丝均为铂金材质。
优选的,陶瓷基片的纯度在99.7%以上。
优选的,热端结合点为球型测温点。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益的技术效果:
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