[实用新型]一种电镀装置有效
| 申请号： | 201820699122.8 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN208362519U | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 金旭升;黄建业;曾张国 | 申请（专利权）人： | 深圳市富利特科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/04 | 分类号： | C25D21/04;H05K3/42 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 王利彬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区前进二*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波发生器 机械振动器 镀液槽 印刷电路板基板 电镀装置 铜镀液 进板 电镀技术领域 本实用新型 电镀槽 亲和力 槽壁 镀层 镀铜 对孔 孔壁 贯通 震动 | ||
【权利要求书】：
1.一种电镀装置，其特征在于，所述装置包括：镀液槽、超声波发生器和机械振动器；其中，
所述超声波发生器和所述机械振动器设置于所述镀液槽的槽壁；
所述超声波发生器位于从所述镀液槽的进板处至1/2的范围内；
所述机械振动器位于从所述镀液槽的进板处至2/3的范围内。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述机械振动器包括：振动发生器、传导杆、振动片、减震弹簧和固定基板；
所述振动发生器与传导杆固定；
所述振动片为多个，分布于所述传导杆的各个方向；
所述减震弹簧固定于所述传导杆的两端；
所述固定基板分别与所述减震弹簧和所述镀液槽的槽壁固定。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述振动发生器的振动频率为0～8000HZ。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述超声波发生器的振动频率为20～8000HZ。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述超声波发生器位于所述镀液槽的中间。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述机械振动器位于从所述镀液槽的进板处为起始的2/3的长度处。
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