[实用新型]一种等离子体清洗装置有效
| 申请号： | 201820703670.3 | 申请日： | 2018-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN208111396U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 詹铁锤;程光周;薛进;倪红德 | 申请（专利权）人： | 合肥杰硕真空科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体清洗装置 正负电极 等离子体发生装置 本实用新型 法兰接口 进气装置 真空腔体 真空室 活性自由基 气体混合室 无损伤清洗 质量流量计 托盘 纯净气体 电极导轨 电极调节 电极法兰 电极接入 电极托盘 进气管路 上下两端 电磁阀 进气路 气管路 性反应 抽气 和匀 路法 破空 离子 电源 轨道 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体清洗装置，包括进气装置、等离子体发生装置和真空室，其特征在于，所述进气装置包括进气管路、MFC质量流量计、电磁阀、气体混合室和匀气管路；所述等离子体发生装置包括正负电极和PWM脉宽调制电源，所述正负电极包含电极接入端、电极导轨、电极托盘；所述真空室包括电极调节轨道、真空腔体，真空腔体底部开设主抽气路法兰接口、纯净气体破空法兰接口、上部开设进气路法兰接口、上下两端各开设电极法兰接口。
2.根据权利要求1所述的一种等离子体清洗装置，其特征在于，所述进气装置可设置2路进气管路。
3.根据权利要求1所述的一种等离子体清洗装置，其特征在于，电极托盘高度间隔可通过手动控制连续可调。
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