[实用新型]一种超大立式镀膜机及镀膜设备

权利要求书

1.超大立式镀膜机，其特征在于，包括：

主体，主体具备第一容纳空间；

至少两个进气结构，所述进气结构均设置在主体上以连通所述第一容纳空间；所述进气结构沿第一平面对称地设置在所述主体上；

至少两个出气结构，所述出气结构均设置在主体上以连通所述第一容纳空间；所述出气结构沿第二平面对称地设置在所述主体上；

所述第一平面与所述第二平面具备预设的夹角。

2.根据权利要求1所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

所述进气结构均包括沿所述主体高度方向设置的多个入气口，

从所述主体的顶部到底部的方向，同一高度直径不同，同一侧边的进气机构直径不同。

3.根据权利要求2所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

靠近所述主体顶部所述入气口与所述主体的端面距离预设距离。

4.根据权利要求2所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

多个所述入气口非均匀间隔分布，且所述入气口设置与气体密度相关。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

所述第一平面与所述第二平面之间的夹角可相互调节。

6.根据权利要求5所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

所述第一平面和所述第二平面均通过所述主体横截面的中心。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

所述第一容纳空间的腔室内出气口设有挡板阀，控制出气的流阻，可以为全开或半开。

8.根据权利要求7所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

所述主体为圆柱形；

且所述第一容纳空间的所述腔室内进气口设有导流板，控制进气的方向。

9.根据权利要求8所述的超大立式镀膜机，其特征在于：

所述导流板倾斜地设置在所述第一容纳空间的内壁上；

沿所述进气口至所述第一容纳空间的中心，所述导流板形成的开口逐渐变小。

10.一种镀膜设备，其特征在于：

所述镀膜设备包括控制装置和权利要求1-9中任一项所述的超大立式镀膜机；所述的镀膜设备的门开设在侧面。