[实用新型]光刻机光源装置有效
| 申请号： | 201820709656.4 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208399889U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 敬立成;戴滔;张斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市虎成科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透镜 光源安装架 光源单元板 基板 本实用新型 光源装置 光刻机 多块 微调 螺丝固定 光斑 透光 焦点处 橡胶圈 穿设 光刻 螺孔 螺丝 | ||
【权利要求书】：
1. 一种光刻机光源装置，包括光源安装架，其特征在于，光源安装架上设有多块光源单元板，所述光源单元板包括基板及多个UV LED光源，基板上开设有多个螺孔，基板通过螺丝固定于光源安装架上；UV LED光源包括UV LED灯芯及对应的透镜，透镜穿设于光源安装架上且透镜与光源安装架之间垫设有橡胶圈，所述透镜的透光角度小于2.5度，UV LED灯芯设于基板正面上对应透镜的焦点处。
2. 如权利要求1所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述多块光源单元板上的UVLED光源呈至少一组多行等距排列。
3. 如权利要求2所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述每个光源单元板包括12个且组成4*3矩阵的UV LED光源。
4. 如权利要求1所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述UV LED灯芯的光波长范围为250nm-450nm。
5.如权利要求1所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述基板为铝基板。
6.如权利要求5所述的光刻机光源装置，其特征在于，还包括散热片，所述散热片贴设于基板的背面。
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