[实用新型]一种单晶硅棒输送装置及切割机

权利要求书

1.一种单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述输送装置包括工作台、滚轮机构和对刀移料机构；

所述滚轮机构设置于工作台上，滚轮机构沿工作台设置成两排；

所述对刀移料机构包括吸盘、移料机构和检测机构，所述移料机构包括移料架和驱动机构，所述驱动机构用于带动移料架沿工作台轴向运动，所述吸盘固定在移料架上，吸盘用于贴吸在单晶硅棒的一端面上，所述检测机构包括连接座、圆螺母、滑动销轴、复位弹簧、感应开关和感应板，所述连接座与移料架之间螺纹连接，所述圆螺母套设于连接座外，连接座上开设有容置孔，所述复位弹簧位于容置孔中，所述滑动销轴一端连接复位弹簧，另一端连接感应板，所述感应开关固定在连接座上，感应开关的感应端与连接座的侧壁相齐平，所述感应板与吸紧单晶硅棒后的吸盘面相齐平。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述连接座包括固定座和滑动座，所述固定座与移料架之间螺纹连接，所述滑动座与固定座之间滑动套接，所述固定座与滑动座内部均开设有容置孔，滑动座与固定座连通，所述复位弹簧位于固定座的容置孔中，所述滑动销轴一端与复位弹簧连接，另一端连接感应板，所述感应开关固定在滑动座上。

3.根据权利要求2所述的单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述对刀移料机构还包括装夹工件，所述装夹工件固定在移料架上，装夹工件分别位于吸盘的两侧，所述装夹工件包括装夹座、第一气缸和第二气缸，所述第一气缸的缸体固定在装夹座的侧壁上，第一气缸的伸缩杆贯穿装夹座，伸缩杆穿过装夹座一端固定有顶紧块，所述顶紧块与装夹座侧壁之间的伸缩杆外部套设有圆形伸缩护罩，所述第二气缸的缸体固定在装夹座的侧壁上，第二气缸的伸缩杆伸缩实现与第一气缸伸缩杆的抵靠或者分离，位于吸盘两侧的装夹工件的第一气缸的伸缩杆均朝向吸盘设置。

4.根据权利要求1所述的单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括送料机构，所述送料机构包括夹持机构和输送机构，所述夹持机构用于夹紧单晶硅棒，所述输送机构包括输送架和驱动机构，所述夹持机构固定在输送架上，所述驱动机构用于带动输送架沿工作台轴向运动。

5.根据权利要求4所述的单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述驱动机构包括伺服电机、传动齿轮和传动齿条，所述传动齿条设置在工作台的侧壁上，所述传动齿轮与传动齿条相啮合，所述伺服电机的输出轴与传动齿轮连接。

6.根据权利要求4所述的单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述夹持机构包括第一卡爪座、第二卡爪座、卡爪和伸缩件，所述第一卡爪座、第二卡爪座均呈弧形结构，第一卡爪座的一端与伸缩件的一端铰接，第一卡爪座的另一端固定有卡爪，第二卡爪座的一端与伸缩件的另一端铰接，第二卡爪座的另一端固定有卡爪，第一卡爪座与第二卡爪座均通过支撑柱连接输送架，第一卡爪座与第二卡爪座均可绕与支撑柱连接处转动。

7.根据权利要求1所述的单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述滚轮机构包括U型滚轮支撑架、连接杆和滚轮，所述U型滚轮支撑架与工作台顶面固定连接，所述滚轮经由连接杆固定在滚轮支撑架的U形槽内，滚轮可绕连接杆转动。

8.根据权利要求1所述的单晶硅棒输送装置，其特征在于，两排滚轮机构中滚轮中心线的延长线形成预设夹角β，所述β角为30-60°。

9.一种单晶硅棒切割机，其特征在于，所述切割机包括线锯切割运行机构和单晶硅棒输送装置，其特征在于，所述单晶硅棒输送装置为权利要求1-8任意一项所述的单晶硅棒输送装置。