[实用新型]一种具有精准计量组分含量功能的电光源气体配气装置有效
申请号: | 201820714043.X | 申请日: | 2018-05-03 |
公开(公告)号: | CN208225837U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 张利民;刘椿;赵庆捷;魏文刚;王妍 | 申请(专利权)人: | 杭州贝斯特气体有限公司 |
主分类号: | H01J9/395 | 分类号: | H01J9/395 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310000 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电光源 气体配气装置 一端连接 搅拌带 输气管 计量 伸缩杆 真空罐 齿轮 卡口 输气 皮带 配制 饱和蒸气压 本实用新型 电机安装 密闭管道 气体纯度 双向电机 连接杆 卤化物 卤素灯 蒸气压 上端 配比 热管 下端 电机 体内 制造 | ||
1.一种具有精准计量组分含量功能的电光源气体配气装置,包括机体(1)、搅拌带(5)、输气瓶(8)、卡口(12)、电机(13)和连接杆(15),其特征在于:所述机体(1)的内部分布有输气管(2),且输气管(2)的外侧包裹有加热管(3),所述搅拌带(5)安装在输气管(2)的一端,且搅拌带(5)的一端连接有皮带(4),所述皮带(4)的上端连接有齿轮(6),且齿轮(6)的一端连接有双向电机(7),所述输气瓶(8)安装在机体(1)的内部一侧,且机体(1)的下端设置有真空罐(9),所述真空罐(9)的一端连接有伸缩杆(10),且伸缩杆(10)的内部设置有弹簧(11),所述卡口(12)安装在伸缩杆(10)的一端,所述电机(13)安装在机体(1)的底部中间,且电机(13)的上端安装有旋转轴(14),所述连接杆(15)设置在旋转轴(14)的一侧体壁上,且连接杆(15)的上端安装有固定槽(16)。
2.根据权利要求1所述的一种具有精准计量组分含量功能的电光源气体配气装置,其特征在于:所述搅拌带(5)设置为波浪形,且搅拌带(5)的一端分别安装有尺寸相同的皮带(4)。
3.根据权利要求1所述的一种具有精准计量组分含量功能的电光源气体配气装置,其特征在于:所述伸缩杆(10)与弹簧(11)之间构成伸缩结构,且伸缩杆(10)的最大伸缩距离不超过弹簧(11)的自身形变量。
4.根据权利要求1所述的一种具有精准计量组分含量功能的电光源气体配气装置,其特征在于:所述卡口(12)设置为圆形,且卡口(12)的圆心与弹簧(11)和伸缩杆(10)的圆心在同一直线上。
5.根据权利要求1所述的一种具有精准计量组分含量功能的电光源气体配气装置,其特征在于:所述旋转轴(14)与连接杆(15)之间构成旋转结构,且连接杆(15)的旋转角度范围为0-360°。
6.根据权利要求1所述的一种具有精准计量组分含量功能的电光源气体配气装置,其特征在于:所述固定槽(16)每3个为一组,且固定槽(16)共设置有6组,并且6组固定槽(16)分别以旋转轴(14)的圆心为中点等距离环绕分布在连接杆(15)上。
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