[实用新型]一种湿式制程设备液流物理洗净装置有效
| 申请号： | 201820719175.1 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208427504U | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陈滢如;简健哲 | 申请（专利权）人： | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 湿式制程 特氟龙管 洗净装置 液流 机台 连接孔 毛刷 刷毛 通孔 流出 冲力 封口 半导体晶圆 本实用新型 圆柱形腔体 传动装置 横向安装 均匀排列 清洗机构 使用寿命 圆柱外壁 轴套连接 包覆的 洁净度 进液管 良品率 延长模 整合型 联通 模刷 外壁 脏污 粘附 洗刷 污染物 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种湿式制程设备液流物理洗净装置，横向安装在湿式制程设备中，其特征是，包括本体(1)，所述本体(1)包括特氟龙管(2)，所述特氟龙管(2)为一端封口，另一端设有连接孔的圆柱形腔体，其连接孔端与湿式制程机台的药液进液管(3)联通，且端部与湿式制程机台的传动装置轴套连接，特氟龙管(2)的圆柱外壁设有均匀排列的通孔(4)，特氟龙管(2)外壁设有包覆的刷毛(5)。
2.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备液流物理洗净装置，其特征是，所述湿式制程设备包括传动辊(6)和喷淋管(7)，所述传动辊(6)为圆柱形，其上承载有基板(8)，喷淋管(7)位于载具上方，特氟龙管(2)位于基板(8)与喷淋管(7)之间，且特氟龙管(2)的刷毛(5)与基板(8)上表面紧贴。
3.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备液流物理洗净装置，其特征是，所述特氟龙管(2)上通孔(4)呈螺旋状均匀排列。
4.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备液流物理洗净装置，其特征是，所述刷毛(5)外表面整体为海绵体型的波点。
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