[实用新型]一种金刚石线锯上砂装置

说明书

本实用新型涉及一种金刚石线锯上砂装置，包括储液槽、上砂槽和导线轮，在所述上砂槽两侧分别设有进线口和出线口，并且进线口和出线口外侧分别设置有所述导线轮，并且该导线轮配有驱动电机及减速机，金属线通过导线轮依次穿过上砂槽的进线口和出线口，在所述上砂槽下方设置有所述储液槽，所述储液槽底端设有出液口，并且该出液口连接进液管一端，进液罐另一端设置有喷淋管，所述喷淋管上均匀设有多个喷淋头，该喷淋头设置在所述上砂槽上方，并且对准上砂槽内的金属线，在所述上砂槽底端设有回液口，所述回液口通过回液管道与储液槽相连接，并且在回流管道上设有单向阀；本实用新型结构简单，能够实现连续均匀稳定的上砂。

技术领域

本实用新型涉及电镀金刚线制造领域，具体涉及一种金刚石线锯上砂装置。

背景技术

目前国内对硅片进行切割时主要是采用游离磨料线锯切割技术，即边切割边向钢丝送带有磨料的浆液（金刚石或碳化硅浆液）；但是游离磨料线锯切割技术具有明显的缺点，切割效率低，锯口损耗大，表面粗糙和面型精度难以控制，浆液回收困难，工作环境恶劣等等，为解决上述问题，固结磨料线锯越来越受到国内外研究着的关注，特别是电镀金刚石线锯的研究。

电镀金刚石线锯分三步：第一步为预镀即在钢丝基体上预镀一层镍，一般厚度为1—3um，第二步为上砂，第三步为加厚镀；目前的上砂方式有悬浮法和埋砂法，采用悬浮法对钢丝进行上砂时，由于钢丝为圆柱体，在钢丝的下表面和上表面上砂极不均匀，而我们需要的切割线锯需要在钢丝的四周上砂均匀，采用埋砂法对钢丝进行上砂时，上砂均匀，但是需要特殊的上砂槽，不易制作，且难以进行连续大规模的生产。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提出一种金刚石线锯在线上砂装置，其结构简单，能够实现连续均匀稳定的上砂。

本实用新型解决以上技术问题的技术方案：提供一种金刚石线锯上砂装置，包括储液槽、上砂槽和导线轮，在所述上砂槽两侧分别设有进线口和出线口，并且进线口和出线口外侧分别设置有所述导线轮，并且该导线轮配有驱动电机及减速机，金属线通过导线轮依次穿过上砂槽的进线口和出线口，在所述上砂槽下方设置有所述储液槽，所述储液槽底端设有出液口，并且该出液口连接进液管一端，进液罐另一端设置有喷淋管，所述喷淋管上均匀设有多个喷淋头，该喷淋头设置在所述上砂槽上方，并且对准上砂槽内的金属线，在所述上砂槽底端设有回液口，所述回液口通过回液管道与储液槽相连接，并且在回流管道上设有单向阀。

本实用新型进一步限定的技术方案为：

前述的在储液槽内设有搅拌装置。

前述的在上砂槽内设置有溢流隔板。

前述的进液管上设有流量控制阀。

前述的在上砂槽内安装有超声波震动器。

本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，能够持续稳定的上砂，在储液槽内安装有搅拌装置，保证金刚石在储液槽内被充分搅拌均匀，便于保证后序上砂时均匀性；在喷淋管上均匀设有多个喷淋头，该喷淋头设置在上砂槽上方，并且对准上砂槽内的金属线，加上上砂槽内设置有溢流隔板，能够使得上砂槽中的砂粒分布更加均衡，使得电镀后的金刚线的微粉分布更加均匀；在上砂槽内安装有超声波震动器，使得中的金刚石微粉充分分散，可提其分散性，改善锯丝表面上砂团聚的现象；在上砂槽底端设有回液口，回液口通过回液管道与储液槽相连接，能够回收再利用，避免浪费。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例1