[实用新型]一种水冷籽晶杆

权利要求书

1.一种水冷籽晶杆，其特征在于，包括：下封块（1）、上支撑块（6）、连接于所述下封块（1）与上支撑块（6）之间的中空的支撑环（2）、以及位于所述支撑环（2）内的实心柱（3）；所述下封块（1）、支撑环（2）、实心柱（3）与上支撑块（6）之间的空腔形成为流通有冷却水的冷却内腔。

2.根据权利要求1所述的水冷籽晶杆，其特征在于，还包括与所述冷却内腔相连的进水管（4）与出水管（5）。

3.根据权利要求2所述的水冷籽晶杆，其特征在于，还包括连接于所述实心柱（3）的表面且将所述冷却内腔分隔开的隔板（7），所述冷却内腔的分隔后的两部分分别与所述进水管（4）与出水管（5）连通，且该两部分之间还存在供冷却水流通的通路。

4.根据权利要求1所述的水冷籽晶杆，其特征在于，还包括设于所述支撑环（2）的外壁的支撑台面（8）。

5.根据权利要求1所述的水冷籽晶杆，其特征是在于，所述上支撑块（6）的上表面与所述实心柱（3）的上表面齐平，所述下封块（1）的下表面与所述实心柱（3）的下表面齐平。

6.根据权利要求1所述的水冷籽晶杆，其特征是在于，所述支撑环（2）的上表面与所述上支撑块（6）的下表面重合，所述支撑环（2）的下表面与所述下封块（1）的上表面重合。

7.根据权利要求4所述的水冷籽晶杆，其特征在于，所述支撑台面（8）与所述上支撑块（6）平行，所述支撑台面（8）与所述支撑环（2）垂直。

8.根据权利要求1所述的水冷籽晶杆，其特征在于，所述实心柱（3）为实心金属件。

9.根据权利要求2所述的水冷籽晶杆，其特征在于，所述进水管（4）和出水管（5）连接于所述支撑环（2）的中下部。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的水冷籽晶杆，其特征在于，所述水冷籽晶杆中的各部件均采用焊接方式连接。