[实用新型]一种加热器电极防转结构

说明书

本实用新型公开了一种加热器电极防转结构，包括电热体、电极、加热器外罩、固定块、绝缘陶瓷块，所述电极中段有阶梯台阶及并紧外螺纹，且并紧外螺纹段有型面扁方，所述陶瓷块有与电极匹配的内孔型面扁方，套入电极中段外螺纹扁方处，通过电极中段阶梯台阶轴向定位并采用电极并紧螺母稍许施压轴向并紧，所述绝缘陶瓷块外表面还有另一型面扁方及阶梯台阶，所述固定块有与绝缘陶瓷块外表面型面扁方匹配的内孔型面扁方，安装时通过型面扁方将绝缘陶瓷块套入固定块，并通过阶梯台阶轴向定位。本实用新型采用型面圆周固定电极，方便了电极与电热体及引线的固定安装，同时解决了设备长期使用过程中因振动而引起的电接触不良隐患。

技术领域

本发明属于半导体晶圆薄膜生成工艺设备技术领域，特别是涉及一种加热器电极防转结构。

背景技术

半导体晶圆制造过程中会反复用到薄膜工艺，其中PVD(Physical VaporDeposition)物理气相沉积与CVD(Chemical Vapor Deposition)化学气相沉积应用广泛，采用此两种薄膜生成工艺时，晶圆往往需要处于一定温度的真空环境或工艺气氛环境下，这就要求工艺设备具备给晶圆加热的能力。现如今工业上多采用电阻加热方式，其电热体、保温层、电极及各相关组合附件统称为加热器。

现有加热器电极装配结构多采用螺母轴向并紧，依靠摩擦力来抑制电极绕轴线的旋转，由于并紧螺母容易松动，电极在圆周方向并没有严格的机械定位。在电极与电热体连接安装及电极与引线连接安装过程中，电极可绕轴线圆周旋转，这给装配带来不便；同时电极安装后由于设备使用过程的长期振动，电极存在因振动而自旋，从而引起电接触不良的隐患。

因此，如何解决上述问题成为本领域人员研究的重点。

实用新型内容

本实用新型的目的就是提供一种加热器电极防转结构，能有效解决上述设备使用过程长期振动，电极存在因振动而自旋，从而引起电接触不良的隐患。

本实用新型的目的通过下述技术方案来实现：

一种加热器电极防转结构，包括电极、加热器外罩、固定块、绝缘陶瓷块、电极并紧螺母，所述加热器外罩有电极穿孔和内螺纹孔，所述电极中段有阶梯台阶及并紧外螺纹，且并紧外螺纹段加工有型面扁方，绝缘陶瓷块有与电极型面扁方相配合的内孔，绝缘陶瓷块套在电极型面扁方上，且绝缘陶瓷块外表面也有台阶状型面扁方，所述固定块有与绝缘陶瓷块外表面台阶状型面扁方匹配的内孔型面扁方，固定块套在绝缘陶瓷块台阶状型面扁方的外表，所述固定块还有与加热器外罩内螺纹孔匹配的固定螺孔，固定块通过固定螺孔固定在加热器外罩内螺纹孔上，电极并紧螺母套在电极并紧外螺纹上，电极并紧螺母在缘陶瓷块下面将绝缘陶瓷块固定。

作为优选，所述电极的一端带内螺纹孔，连接螺钉将电热体固定在电极内螺纹孔上。

作为优选，所述电极的另一端有外螺纹，两个引线并紧螺母和两个平垫圈将引线固定在电极外螺纹端。

作为优选，所述加热器外罩的内螺纹孔与对应的固定块的固定螺孔均有三个，且三个孔成三角形排列。

作为优选，所述绝缘陶瓷块的外表面阶梯台阶与加热器外罩底面留有稍许间隙。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型电极中段与加热器外罩采用带有型面扁方的螺纹连接方式，电极不可以绕轴线旋转，因此装配方便，绝缘陶瓷块以及固定块均采用型面扁方的结构连接同时电极安装后不会因为设备长期振动，产生自旋，就不会引起电接触不良的问题。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是绝缘陶瓷块结构示意图；

图3是固定块结构示意图；

图4是电极结构图。