[实用新型]一种微球旋转夹持装置

权利要求书

1.一种微球旋转夹持装置，其特征在于，由X轴旋转夹持端、Y轴旋转夹持端、X向微移动平台及Y向微移动平台组成；所述的X轴旋转夹持端与Y轴旋转夹持端分别通过螺钉固定于Y向微移动平台、X向微移动平台。

2.根据权利要求1所述的一种微球旋转夹持装置，其特征在于，X轴旋转夹持端与Y轴旋转夹持端结构相同，且垂直分布。

3.根据权利要求1所述的一种微球旋转夹持装置，其特征在于，所述的X轴旋转夹持端或Y轴旋转夹持端包括：基座和通过螺钉固定在基座上的外壳，在基座中心设有主轴，主轴穿过外壳且内部中空，主轴左端设有内螺纹和外螺纹，通过内螺纹与中心回转气压接头连接，通过外螺纹与锁紧螺母连接；所述的锁紧螺母通过止推板将止推密珠轴承与轴套压在基座上；在主轴的右端外壳凹槽内安置有气浮轴承，气浮轴承一侧设有碳纤维导气管，碳纤维导气管穿过外壳由直通快速气压接头固定；在基座内侧主轴上套接有振动体，所述的振动体一侧通过螺钉与基座固定，边缘处通过环氧树脂黏结环型PZT压电陶瓷，另一侧边缘处布满齿槽与转动体通过摩擦片贴合；所述转动体套接在主轴上，转动体固定有摩擦片，摩擦片通过螺钉与主轴固定在一起；转动体上安装有圆光栅尺传感器。

4.根据权利要求3所述的一种微球旋转夹持装置，其特征在于，所述止推密珠轴承设有滚珠保持架，滚珠保持架上间隔安置有径向滚珠，所述的径向滚珠与主轴轴颈、轴套过盈配合。

5.根据权利要求3所述的一种微球旋转夹持装置，其特征在于，所述圆光栅尺传感器由相连的圆光栅尺和光栅尺读数头构成。

6.根据权利要求3所述的一种微球旋转夹持装置，其特征在于，所述的振动体为弹簧钢件。

7.根据权利要求3所述的一种微球旋转夹持装置，其特征在于，所述的转动体为铍青铜件。

8.根据权利要求1所述的一种微球旋转夹持装置，其特征在于，所述的X向微移动平台与Y向微移动平台结构相同，为压电元件式微位移结构。