[实用新型]一种石英超真空腔

权利要求书

1.一种石英超真空腔，包括第一箱体（1）、石英管（5）、透气板（8）和连接杆（11），其特征在于：所述第一箱体（1）的内侧通过连接件（13）连接有第二箱体（2），且第二箱体（2）的内侧通过连接件（13）连接有第三箱体（3），同时第三箱体（3）的内部设置有真空腔（4），所述石英管（5）安装在第三箱体（3）的上方，且石英管（5）的顶部开设有通气孔（6），同时通气孔（6）的顶部固定有石英板（7），所述透气板（8）设置在第一箱体（1）的外表面，且透气板（8）的内部开设有透气孔（9），同时第一箱体（1）的底部左右两端设置有防滑垫（10），所述连接杆（11）连接在石英板（7）的下端面，且连接杆（11）的下端设置有螺纹头（12）。

2.根据权利要求1所述的一种石英超真空腔，其特征在于：所述第一箱体（1）、第二箱体（2）和第三箱体（3）构成拆卸安装结构，且第二箱体（2）和第三箱体（3）设置在同一水平面。

3.根据权利要求1所述的一种石英超真空腔，其特征在于：所述石英管（5）关于第三箱体（3）构成垂直安装结构，且石英管（5）的数量设置有4个。

4.根据权利要求1所述的一种石英超真空腔，其特征在于：所述石英管（5）和连接杆（11）设置为中空式结构，且连接杆（11）和石英管（5）构成螺纹连接结构。

5.根据权利要求1所述的一种石英超真空腔，其特征在于：所述透气板（8）和透气孔（9）采用一体化安装结构，且透气孔（9）等间距分布在透气板（8）的表面。

6.根据权利要求1所述的一种石英超真空腔，其特征在于：所述防滑垫（10）在第一箱体（1）的拐角处设置有4个，且防滑垫（10）的下端面与第一箱体（1）的下端面相互平行，同时防滑垫（10）的下端面均设置在同一水平面上。