[实用新型]一种基于螺旋测微计的PSD位移精密测量装置

说明书

本实用新型属于测量仪器技术领域，特别是涉及一种新型基于螺旋测微计的PSD位移精密测量装置。包括PSD位移传感器、PSD电路结构、底座、固定块、螺旋测微头、电源、半导体激光器、升降调节架和滑块；所述电源设置在半导体激光器上部与半导体激光器电连接；半导体激光器下表面连接升降调节架的上端头；升降调节架底部固定在滑块上，侧面与螺旋测微头的调节头固定连接；调节精度更高，误差更小，还可直接读出PSD位移，使用更加方便。

技术领域

本实用新型属于测量仪器技术领域，特别是涉及一种新型基于螺旋测微计的PSD位移精密测量装置。

背景技术

随着现代科学技术的发展，传统的测量仪器，比如各种测距仪、测厚仪、角度仪、轮廓仪等越来越达不到测量精度的要求，技术含量更高的光学精密测量仪器逐渐代替了传统的接触式的测量仪器。光电位移敏感探测器PSD，以其分辨率高、实时性强、后续处理电路结构简单等优点，广泛地应用于激光位移检测系统中。

现有PSD位移测量仪器虽然出厂时都进行了检测，但是有些仪器测量精度不够，而在一些精密测量的场合，具体测量的值是否准确，需要再次进行检测校准；此外，PSD位移测量仪器使用一段时间过后，会产生一些误差，需要重新进行调零校准，这些都需要一个方便的校准定标装置。而现有技术中的PSD位移测量仪还没有很好的技术方案来解决这一问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种新型基于螺旋测微计的PSD位移精密测量装置，解决了现有技术中的位移定标测量装置测量精度低的技术问题。

具体技术方案是，所述基于螺旋测微计的PSD位移精密测量装置，包括PSD位移传感器、PSD电路结构、底座、固定块、螺旋测微头、电源、半导体激光器、升降调节架和滑块；所述电源设置在半导体激光器上部与半导体激光器电连接；半导体激光器下表面连接升降调节架的上端头，可随着升降调节架的上下升降进行实现上下调节；升降调节架底部固定在滑块上，侧面与螺旋测微头的调节头固定连接；所述固定块中部设置滑轨，所述滑块设置在滑轨上；螺旋测微头中部通过固定扣固定在固定块的边缘；从而通过调节螺旋测微头来调节升降调节架的水平位置，进而滑块随着滑轨移动，从而最终实现半导体激光器的位置调节。所述固定块底部与底座固定连接；所述 PSD位移传感器固定在底座上，PSD位移传感器的接收光敏面与半导体激光器的输出端相对设置并且与PSD电路结构电连接。在使用时，首先通过升降调节架调节半导体激光器的高度位置，然后通过调节螺旋测微头进而通过底部的滑块与滑轨的配合从而实现水平位置的调节，最终半导体激光器调节到与PSD位移传感器相对的准确位置，调节位移可直接通过螺旋测微头读出；然后开启电源，半导体激光器发射的光信号被PSD位移传感器转换为电信号，然后将电信号传输给PSD电路结构，最后通过PSD电路结构将电信号转化处理再通过显示器显示出来。

所述PSD电路结构包括PSD供电电路、PSD处理输出电路和显示器；所述PSD供电电路电连接PSD处理输出电路，PSD处理输出电路输出显示信号到显示器；PSD供电电路为整个PSD电路结构提供所需电源；PSD处理输出电路包括U4A电路、U4B电路、U5A电路和U5B电路；所述U4A电路和U4B电路用于完成PSD两路电流输出I/V转换；U5A用于将两路输出进行加法运算，用来验证PSD 两路输出之和不随光电位置变化而改变；U5B用于实现PSD位移测量；所述PSD处理输出电路包括U3A电路和U3B电路，U3A电路为放大电路，W1用来调节放大增益，U3B为调零电路，通过调节 W2阻值大小进行电路调零。

有益效果，通过将螺旋测微头与半导体激光器相结合，从而使 PSD位移定标测量装置的调节精度更高，误差更小，还可直接读出 PSD位移；通过在半导体激光器下端设置升降调节架从而使半导体激光器的高度调节更加方便；通过PSD电路结构的设计从而使输出结果更加准确，能够将更加微弱的光信号通过PSD电路结构的设计显示在显示器上。

附图说明