[实用新型]单体多材料多膜厚标准块有效
| 申请号： | 201820740561.9 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN208621031U | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 朱小平;杜华;王凯;荣婕;徐真杰;赵沫;崔建军 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人： | 王贵良 |
| 地址： | 100013 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀层膜 光学膜厚 平面基体 标准块 台阶仪 膜层 膜厚 溯源 测量 非接触式测量 接触式测量 材料组合 单一基体 工作区域 基体表面 正交排列 单膜层 增大的 触针 镀层 镀制 里层 分区 覆盖 制造 | ||
【权利要求书】：
1.单体多材料多膜厚标准块，其特征在于：包括平面基体、膜层；所述平面基体为理想平面基体；所述膜层有多种不同材料和厚度；
所述膜层排列方式有单纵单横排列、有序纵横正交排列、按照米字线辐射状排列或安定要求布局排列的多种排列方式；
所述膜层厚度规格一般不超过三层。
2.根据权利要求1所述单体多材料多膜厚标准块，其特征在于，所述膜层由不同材料和不同厚度的镀层组成，且依据不同的材料，不同的厚度的镀层搭配设置多个分区。
3.根据权利要求1所述单体多材料多膜厚标准块，其特征在于，所述膜厚的测量和溯源通过测量膜层台阶高度实现。
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