[实用新型]一种用于真空器件的吸气剂加热装置

权利要求书

1.一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是包括加热圈、温度传感器、温度控制器、热传导真空管道、真空电极；其中加热圈固定于热传导真空管道的外部，温度控制器的输出端与加热圈串联，温度控制器的信号输入端连接温度传感器的输出端，温度传感器的信号输入端设有真空电极，真空电极的末端固定于热传导真空管道的内部。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是所述的加热圈的外层为铁皮，中层为隔热纤维，内层为陶瓷片，陶瓷片内部穿有电阻加热丝。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是所述的温度传感器通过真空电极连接热传导真空管道内部的吸气剂。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是所述的温度控制器包括温控仪、调压器和继电器，并连接外部电源。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是所述的热传导真空管道通过法兰外接真空排气设备，热传导真空管道外径大于10mm，小于180mm，热传导真空管道的材料为不锈钢、玻璃、可伐、铜或钛合金之一。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空器件的吸气剂加热装置，其特征是所述的真空电极为玻璃封接钨电极或陶瓷封接可伐电极，其固定在热传导真空管道内部表面上。