[实用新型]一种差分式位移传感器

权利要求书

1.一种差分式位移传感器，其特征在于，包括：

三角波反射镜，包括若干个反射面；

激光束一，入射至三角波反射镜的反射面；

分光镜组一，包括分光镜一和反光镜二，且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束一入射至分光镜一，一部分激光束一先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一，另一部分激光束一经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一；

两个所述光电探测器一，用于接收经分光镜组一透射或反射的激光束一，并测量其入射位置；

处理系统，用于根据两个光电探测器接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的差分式位移传感器，其特征在于，两个光电探测器一和分光镜组一之间的设置位置满足关系：激光束一经分光镜组一后分别入射至两个光电探测器一的入射角相同。

3.根据权利要求2所述的差分式位移传感器，其特征在于，分光镜一和反光镜二呈90度夹角设置，且两个光电探测器一平行设置。

4.根据权利要求1所述的差分式位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光束一由激光源一发射得到，激光源一、分光镜组一和两个光电探测器一均固定设置于壳体内，组成读数头。

5.根据权利要求1-3任一所述的差分式位移传感器，其特征在于，还包括：

激光束二，入射至三角波反射镜的一个反射面，且激光束一与激光束二分别在三角波反射面的初始入射点位置不同；

分光镜组二，包括分光镜三和反光镜四，且分光镜三和反光镜四呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束二入射至分光镜三，一部分激光束二先后经分光镜三和反光镜四反射后入射至其中一个光电探测器二，另一部分激光束二经分光镜三透射后入射至另一个光电探测器二；

两个所述光电探测器二，用于接收经分光镜组二透射或反射的激光束二，并测量其入射位置；

所述处理系统具体用于，根据两个光电探测器一上所接收到的激光束一的入射位置变化量，或两个光电探测器二上所接收到的激光束二的入射位置变化量，处理得到被测物体的位移变化值。

6.根据权利要求5所述的差分式位移传感器，其特征在于，分光镜三和反光镜四之间的夹角与分光镜一和反光镜二之间的夹角相同。

7.根据权利要求5所述的差分式位移传感器，其特征在于，激光束一和激光束二均入射至三角波反射镜的同一个反射面，或者，激光束一和激光束二分别入射至三角波反射镜的两个不同的反射面。

8.根据权利要求5所述的差分式位移传感器，其特征在于，还包括壳体，激光束一和激光束二分别由激光源一和激光源二发射得到，激光源一、激光源二、分光镜组一、分光镜组二、两个光电探测器一和两个光电探测器二均固定设置于壳体内，组成读数头。

9.根据权利要求5所述的差分式位移传感器，其特征在于，还包括两个壳体，激光束一和激光束二分别由激光源一和激光源二发射得到，激光源一、分光镜组一和两个光电探测器一均固定设置于一个壳体内，组成一个读数头，激光源二、分光镜组二和两个光电探测器二均固定设置于另一个壳体内，组成另一个读数头。

10.根据权利要求5所述的差分式位移传感器，其特征在于，分光镜组一为一体成型的构件，和/或，分光镜组二为一体成型的构件。