[实用新型]光学芯片研磨夹具有效
申请号: | 201820746831.7 | 申请日: | 2018-05-18 |
公开(公告)号: | CN208645045U | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 张晓飞 | 申请(专利权)人: | 深圳鑫振华光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/27 | 分类号: | B24B37/27 |
代理公司: | 深圳益诺唯创知识产权代理有限公司 44447 | 代理人: | 肖婉萍 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压条 光学芯片 芯片固定 研磨夹具 芯片定位槽 定位槽 本实用新型 内陷 夹持空腔 位移变化 地连接 可拆卸 紧固 加工 保证 | ||
本实用新型公开一种光学芯片研磨夹具,包括芯片固定盘以及压条,所述芯片固定盘上设有芯片定位槽结构,所述芯片定位槽结构内陷形成有压条定位槽,所述压条插入所述压条定位槽,所述压条与所述芯片固定盘可拆卸地连接,所述压条与所述芯片固定盘之间形成有夹持空腔。本实用新型通过所述芯片定位槽结构内陷形成压条定位槽,使所述压条与所述芯片固定盘连接更紧密,从而提高了所述光学芯片在所述光学芯片研磨夹具上的固定精度,在加工所述光学芯片的过程中,紧固所述光学芯片,以避免了所述光学芯片在加工过程中发生微小的位移变化,结构简单,保证了所述光学芯片研磨夹具加工的精度与稳定性。
技术领域
本实用新型涉及一种光学芯片加工设备,具体涉及一种光学芯片研磨夹具。
背景技术
1969年,贝尔实验室的Miller S.E.首次提出了“集成光学”的概念,宣告了光纤通信产业进入集成器件的时代。采用集成电路技术(Integrated Circuit)制造波导芯片的光路,将常规分立光学元件的各种功能集成到同一光学衬底表面,完成常规由多个分立光学元件所构成的庞大光学系统的光信息处理能力,实现光波信号生产与探测、光功率分配、光开关、光滤波等功能。随着光纤通信技术的快速发展,该技术也得到了快速发展,逐步形成了自身特色,且大多数功能结构均在同一光学衬底上,主要结构是光波导通道,因此称该技术为平面光波导技术。
目前,平面光波导光学芯片,通常用于光分路器中,它是光通信、光传感、三网融合、物联网等技术中的核心器件,在加工过程中,光学芯片的端面需要研磨出一定的角度,并且需要将其端面研磨的平整光滑,为了保证能够研磨出角度精准、端面平整光滑的光学芯片,在加工制作过程中需要借助研磨夹具,该研磨夹具要能够准确定位光学芯片,保证光学芯片的端面能够研磨出精准的角度,然而,现有技术中的光学芯片研磨夹具的芯片定位槽与压条之间只通过紧固装置固定,在加工光学芯片的过程中,压条会有微小的位移,导致加工精度不高,加工过程不稳定。
因此,有必要提出一种新的光学芯片研磨夹具以解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种光学芯片研磨夹具,旨在紧固光学芯片,以保证加工光学芯片时的加工精度与稳定性。
为实现上述目的,本实用新型提出的一种光学芯片研磨夹具,包括芯片固定盘以及压条,所述芯片固定盘上设有芯片定位槽结构,所述芯片定位槽结构内陷形成有压条定位槽,所述压条插入所述压条定位槽,所述压条与所述芯片固定盘可拆卸地连接,所述压条与所述芯片固定盘之间形成有夹持空腔。
优选地,所述芯片固定盘上设有多个格挡条,相邻两个所述格挡条相互平行地设置,相邻两个所述格挡条与芯片固定盘之间形成芯片定位槽结构。
优选地,所述格挡条的横截面为等腰梯形,所述压条的横截面为与所述压条相邻两侧的格挡条相对应的倒等腰梯形。
优选地,所述光学芯片研磨夹具还包括紧固装置,所述紧固装置为螺纹紧固装置,所述螺纹紧固装置包括紧固螺栓、螺纹孔及紧固螺孔,所述压条上设有所述螺纹孔,所述压条定位槽内设有所述紧固螺孔,所述压条通过所述紧固螺栓与所述芯片固定盘可拆卸地连接。
优选地,所述压条定位槽内设有压缩弹性装置,所述压缩弹性装置为压缩弹簧,所述压缩弹簧的一端固定设于所述压条定位槽的表面上。
优选地,所述芯片固定盘的横截面为圆形,所述芯片固定盘上均匀设有五个梯形的芯片定位槽结构。
优选地,所述芯片固定盘上均匀设有五个压条定位槽,每个所述压条定位槽内设置有多个所述压条,所述压条沿所述压条定位槽的轴向方向排布。
优选地,每个所述压条定位槽内设置有2个所述压条。
优选地,所述芯片固定盘背离所述芯片定位槽结构的表面上设有拉架。
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