[实用新型]一种硅棒切片机加工底座

说明书

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，涉及一种硅棒切片机加工底座；其结构包括底座和滑动板；底座由四周的边框组成中空长方体结构，滑动板通过滑轨与底座滑动连接；滑动板中央位置开设有凹槽；凹槽内一端设置有连接块，另一端设置有电机；电机输出端与旋转轴一端连接；旋转轴另一端与连接块相对旋转式连接；旋转轴两侧设置有方向相反的螺纹，旋转轴两侧分别与两个移动块螺纹连接；移动块上方与夹块固定连接；连接块上方可拆卸式连接有伸缩杆，伸缩杆顶面通过螺钉二连接有支撑杆，支撑杆的端部固定设置有伸缩油缸，伸缩油缸输出端连接上定位块；该加工底座实现了对硅棒的准确定位和位置固定，提高了整体工作效率，节能环保。

技术领域

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，涉及一种硅棒切片机加工底座。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，利用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展，硅片的应用非常广泛，涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。硅片在加工时，通常采用切割装置将硅棒切割为一定厚度的硅片，传统的切割装置加工底座不能对硅棒较好的固定，且结构复杂，使用不便。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种硅棒切片机加工底座，以解决现有技术中对硅棒固定效果不佳、操作不便的问题。

本实用新型涉及的硅棒切片机加工底座，其主体结构包括底座和滑动板；所述的底座由四周的边框组成中空长方体结构，其中一对平行的边框上设置有滑轨，滑动板通过滑轨与底座滑动连接；滑动板中央位置开设有凹槽；凹槽内一端设置有连接块，另一端设置有电机；电机输出端与旋转轴一端连接；旋转轴另一端与连接块相对旋转式连接；旋转轴两侧设置有方向相反的螺纹，旋转轴两侧分别与两个移动块螺纹连接；移动块上方与夹块固定连接；连接块上方可拆卸式连接有伸缩杆，伸缩杆包括上伸缩杆和下伸缩杆，上伸缩杆和下伸缩杆均匀开设有定位孔，上伸缩杆和下伸缩杆通过螺钉一进行定位，螺钉一与定位孔螺纹连接，伸缩杆顶面通过螺钉二连接有支撑杆，支撑杆的端部固定设置有伸缩油缸，伸缩油缸输出端连接上定位块，上定位块用于对硅棒的上下位置固定。

作为优化，所述的夹块与上定位块上设置有与硅棒表面相匹配的弧形结构，用于对硅棒的位置进行更好的固定。

作为优化，所述的左侧夹块底面右侧可拆卸式连接有矩形盖板；盖板的两个长边上设置有滑槽；所述的滑动板上位于凹槽内设置有与滑槽匹配使用的凸沿；盖板上表面低于滑动板上表面，用于盖住位于硅棒下方的凹槽，有利于防凹槽内的灰尘接触硅棒，且该设置方便盖板的安装和拆卸，应用灵活。

作为优化，所述的盖板的长度大于硅棒的直径，以保证硅棒下方的凹槽能够完全被盖住。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：通过电机和旋转轴同时控制两个夹块的移动，能够保证夹块同步移动，有助于硅棒的定位，且有利于节省电能；伸缩杆与连接块可拆卸式连接，方便拆装，伸缩杆的高度能够上下调节，便于对不同直径的硅棒进行夹持固定；盖板能够防止凹槽内灰尘与硅棒的接触，保证了硅棒的清洁，并通过凸沿滑动设置，方便拆卸；其整体结构简单，操作方便，实现了对硅棒的准确定位和位置固定，提高了整体工作效率，节能环保。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构原理示意图；

图2为本实用新型部分结构放大图；

图3为本实用新型的左侧夹块结构放大图；

图4为本实用新型的旋转轴结构放大图；

图5为本实用新型的滑动板结构放大图；