[实用新型]一种电子数密度测量平头探针装置

权利要求书

1.一种电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，包括：

平头探针，其上端具有T形平头圆面；

三氧化二铝陶瓷护套，其内设有容纳所述平头探针的第一通孔，所述平头探针安装于三氧化二铝陶瓷护套的第一通孔中；

用于固定安装平头探针的探针支座，其设有容纳所述三氧化二铝陶瓷护套底部与平头探针的测试线缆的第二通孔；所述平头探针的T形平头圆面与三氧化二铝陶瓷护套上端齐平，另一端伸出第一通孔且裸露在探针支座内并在露出部分设有绝缘护套。

2.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述平头探针的T形平头圆面的平头厚度为1mm～5mm，平头外径为1mm～5mm。

3.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述平头探针的T形平头圆面的平头厚度为1mm，平头外径为3mm。

4.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述绝缘护套为绝缘玻璃布，其通过高温胶与所述三氧化二铝陶瓷护套和平头探针的尾部粘接固定。

5.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述测试线缆与平头探针的尾部焊接固定，所述测试线缆贯穿于探针支座并连接于电子数密度采集分析系统。

6.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述平头探针与三氧化二铝陶瓷护套通过高温烧结固定；所述平头探针的材料为金属钼；所述三氧化二铝陶瓷护套上端为锥形结构，下端为圆柱体结构。

7.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述探针支座第二通孔的四周布置有陶瓷纤维，其通过高温胶与探针支座的内侧面粘接固定。

8.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述三氧化二铝陶瓷护套底部与探针支座的连接处为可拆卸连接，所述可拆卸连接是通过三氧化二铝陶瓷护套底部设有凸棱，而探针支座与三氧化二铝陶瓷护套底部的连接处设有相对应的凹槽，所述凸棱卡在凹槽内进行连接。

9.如权利要求1所述电子数密度测量平头探针装置，其特征在于，所述探针支座底部通过螺纹连接水冷装置，所述水冷装置设置在水冷支架的入口端且通过螺杆固定在运动机构上，所述水冷装置具有纵向贯穿测试线缆的中空结构。