[实用新型]大焦深线形光斑激光清洗镜头及清洗装置

权利要求书

1.大焦深线形光斑激光清洗镜头，其特征在于：至少包括镜筒（1）以及通过压圈固设在所述镜筒（1）内的三组光学透镜（2），该镜头以所述镜筒（1）为基础，所述镜筒（1）从物方到像方依次为由融石英制成的激光扩束组（3）、缩束整形组（4）以及光束准直组（5），用以对小口径高斯光束进行扩束、缩束整形以及准直至具有均匀聚焦线宽和线长的大焦深高斯准直光束。

2.根据权利要求1所述的大焦深线形光斑激光清洗镜头，其特征在于：所述激光扩束组（3）由三片光学透镜组成，从物方到像方依次为第一透镜（31）、第二透镜（32）以及第三透镜（33），所述第一透镜（31）的物像面和镜像面均为凹面，所述第二透镜（32）与所述第一透镜（31）相距78~82mm，且所述第二透镜（32）的物像面为凹面，镜像面为凸面；所述第三透镜（33）与第二透镜（32）相距4.8~5.2mm，且所述第三透镜（33）的物像面和镜像面均为凸面。

3.根据权利要求2所述的大焦深线形光斑激光清洗镜头，其特征在于：所述第一透镜（31）的中心厚度2.8~3.2mm，其物侧面的口径为11.8~12.2mm，曲率半径为-17.5~-17mm，像侧面的口径为13.8~14.2mm，曲率半径为12.2~12.6mm。

4.根据权利要求3所述的大焦深线形光斑激光清洗镜头，其特征在于：所述第二透镜（32）的中心厚度30~30.1mm，物侧面的口径为78~82mm，曲率半径为-150~-145mm，像侧面的口径为88~92mm，曲率半径为-72~-68mm。

5.根据权利要求4所述的大焦深线形光斑激光清洗镜头，其特征在于：所述第三透镜（33）的中心厚度30~30.1mm，口径为104~106mm，物侧面的曲率半径为765~767mm，像侧面的曲率半径为-141~-140mm。

6.根据权利要求5所述的大焦深线形光斑激光清洗镜头，其特征在于：所述缩束整形组（4）为第四透镜（41），所述第四透镜（41）与第三透镜（33）之间的距离为19.8~20.2mm，其中心厚度为14.8~15.2mm，口径为99~101mm，物侧面为凸面，曲率半径132~135，像侧面为平面。

7.根据权利要求6所述的大焦深线形光斑激光清洗镜头，其特征在于：所述光束准直组（5）为第五透镜（51），所述第五透镜（51）与第四透镜（41）之间的距离为282~284mm，其中心厚度为1.8~2.2mm，口径为2.8~3mm，物侧面为平面，像侧面为凹面，曲率半径为1.6~1.8mm。

8.大焦深线形光斑激光清洗装置，其特征在于：包括如权利要求1~7任一所述的大焦深线形光斑激光清洗镜头，以及激光器、振镜，在所述激光器与清洗面之间依次设有振镜、镜头，由所述激光器产生的光束，通过所述振镜后将光束振动成特定形状的光束，将所述特定形状的光束穿过所述大焦深线形光斑激光清洗镜头后照射到清洗面上。

9.根据权利要求8所述的大焦深线形光斑激光清洗装置，其特征在于：所述激光器为脉冲激光器。

10.根据权利要求9所述的大焦深线形光斑激光清洗装置，其特征在于：所述脉冲激光器发射出的光束为10mm高斯光束。