[实用新型]一种真空镀膜机使用的试样旋转装置有效
| 申请号： | 201820761856.4 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN208218951U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 韩柏;吕雪松;王健宇;高鑫;孙志 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 曹徐婷 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集电环 镀膜系统 法兰 试样旋转装置 本实用新型 真空镀膜机 驱动转轮 真空腔体 磁流体 接线柱 真空腔 电介质 从上到下 法兰连接 片状试样 实验效率 真空镀膜 电连接 镀膜机 体内部 上端 流体 下端 组磁 体内 穿过 | ||
1.一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，其特征在于，包括真空腔(18)和镀膜系统；所述真空腔(18)上设置有法兰接线柱(19)，所述法兰接线柱(19)通过导线(7)与设置在真空腔(18)内部的集电环(4)电连接，所述集电环(4)上端与一组法兰(3)连接，所述集电环(4)下端与设置在所述真空腔(18)内的镀膜系统连接，所述法兰(3)上方还设置有一组磁流体(2)，所述磁流体(2)上方设置有一组转轮(1)，所述转轮(1)从上到下依次穿过所述磁流体(2)、所述法兰(3)和所述集电环(4)并与所述镀膜系统连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，其特征在于，所述镀膜系统包括悬空臂(5)，所述悬空臂(5)上端与所述转轮(1)连接，所述悬空臂(5)上分别设置有两组安装臂，两组安装臂下端分别设置有上固定夹(14)和下固定夹(15)，所述上固定夹(14)和所述下固定夹(15)之间设置有镀膜板(13)，所述上固定夹(14)和下固定夹(15)还与一组转轴(11)连接，所述转轴(11)设置在所述安装臂下端的轴承内，所述转轴(11)外端设置有弹簧(16)，所述弹簧(16)一端与所述转轴(11)固定连接，另一端与所述安装臂固定连接，所述转轴(11)端部加工有两组对称设置的卡槽(17)，位于上方的卡槽(17)上方设置有一组阻挡臂(9)，所述阻挡臂(9)上设置有与所述卡槽(17)配合的卡紧块，所述阻挡臂(9)一端与安装臂活动连接，所述阻挡臂(9)还与一组磁性驱动装置连接；所述转轴(11)端部还设置有一组限臂(10)，所述限臂(10)贯穿所述转轴(11)端部，所述转轴(11)旁侧还设置有一组档位柱(12)。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，其特征在于，所述磁性驱动装置包括一组推拉式电磁铁(8)，所述推拉式电磁铁(8)通过导线(7)与集电环(4)电连接，所述悬空臂(5)上加工有容纳导线的线孔(6)，所述推拉式电磁铁(8)的活动端与所述阻挡臂(9)连接。
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