[实用新型]一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统

说明书

本实用新型涉及微纳图样技术领域，公开了一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，包括激光发射模块、光束整形模块、控制模块、显微镜及样品模块；所述光束整形模块包括扩束镜及空间光调制器；所述空间光调制器与所述控制模块电连接，所述控制模块能够控制所述空间光调制器运作，在所述激光发射模块发射的激光光束穿射至所述光束整形模块时，依次经过所述扩束镜及所述空间光调制器将激光光束转化为所需的激光图样；所述样品模块放置于所述显微镜上，所述样品模块包括盒体及夹持件，所述盒体内设有一容置部；所述夹持件固定于所述容置部内，用于固定样品；该系统不需要在样品表面进行刻写，制备微纳图样的效率大大提高。

技术领域

本实用新型涉及微纳图样技术领域，具体涉及一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统。

背景技术

目前，人们通过纳米技术在金属、半导体等表面制备出微纳结构，即制备微纳图样，能够改善材料的表面性能，从而开发与应用所制备的材料为人类的生产和生活提供便利。制备微纳图样属于纳米制造工艺中的重要环节，也是现今难点技术。传统微纳图样制备技术主要包括光刻、电子束曝光、聚焦离子束曝光等，这些技术包括匀胶、曝光、显影等超净工艺步骤；其工艺过程要求较高，而且任何的灰尘或者杂质都会影响后续工艺。激光直写工艺可以利用高能飞秒激光器直接轰击样品，将设计图形刻写在样品表面，达到微纳图样转移的目的；这种方法工艺相对简单，但是将设计图刻写在样品表面需要精细操作，对刻写材料要求也比较高。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，该系统不需要在样品表面进行刻写，制备微纳图样的效率大大提高。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，该系统包括激光发射模块、光束整形模块、控制模块、显微镜及样品；所述激光发射模块，用于发射激光光束；所述光束整形模块包括扩束镜及空间光调制器；所述扩束镜，用于将激光光束进行放大；所述空间光调制器，用于对激光光束进行整形；所述空间光调制器与所述控制模块电连接，所述控制模块能够控制所述空间光调制器运作，在所述激光发射模块发射的激光光束穿射至所述光束整形模块时，依次经过所述扩束镜及所述空间光调制器将激光光模块束转化为所需的激光图样；所述样品模块放置于所述显微镜上，所述样品模块包括盒体及夹持件，所述盒体内设有一容置部，所述容置部用于收容样品及浸泡液；所述夹持件固定于所述容置部内，用于固定样品。

在本实用新型中，优选的，所述激光发射模块为固态激光器。

在本实用新型中，优选的，所述空间光调制器为硅基液晶空间光调制器。

在本实用新型中，优选的，所述控制模块包括SLM控制器和电脑；所述电脑与所述SLM 控制器电连接，并控制所述SLM控制器运作；所述SLM控制器与所述空间光调制器连接，能够控制所述空间光调制器运作。

在本实用新型中，优选的，所述显微镜为倒置显微镜，所述倒置显微镜上设有60倍的水油浸物镜。

在本实用新型中，优选的，所述夹持件均包括两个夹持部及两个弹性连接件，两个所述夹持部相对设置，以于两个所述夹持部之间形成夹持空间；每一所述弹性连接件的一端与其中一所述夹持部固定连接，且其远离所述夹持部的一端与所述容置部固定连接。

在本实用新型中，优选的，所述弹性连接件为弹簧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：