[实用新型]一种用于金属靶材绑定的加热平台

说明书

本实用新型公开了一种用于金属靶材绑定的加热平台，包括底座，所述底座上设置加热板，加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，底座边缘四周设置汇流槽，汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，加热板一侧边缘开设多个U型槽，加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。本实用新型用于金属靶材绑定的加热平台使靶材和背板受热均匀，靶材与背板之间铟液均匀度好，多余铟液也得到很好回收，而且靶材容易翻转和搬离，操作安全、方便。

技术领域

本实用新型属于金属靶材绑定技术领域，具体涉及一种用于金属靶材绑定的加热平台。

背景技术

在液晶面板工业中，金属靶材组件是由符合溅射性能的靶材及能与靶材结合并具有一定强度的背板构成，背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。现有的加热平台金属靶材的翻转及搬离不方便，而且加热过程无法回收多余的焊料。

公告号为CN104416307B的中国专利公开了一种焊接平台的加热板及焊接平台的制作方法、焊接平台，其中，焊接平台，用于焊接靶材与背板，包括：底座，所述底座具有支撑面；位于所述支撑面的至少两个加热板，相邻的加热板之间具有间隔。该发明提供的焊接平台使操作人员操作叉车臂伸入所述间隔，在间隔处从下面支撑起大型靶材组件，实现大型溅射靶材组件从焊接平台搬离，而且，不会对大型溅射靶材组件造成损伤。但是，该专利加热板之间设置间隔，间隔方便叉车臂伸入，间隔较大，容易造成靶材的加热不均匀，绑定后的靶材与背板之间铟液不均匀，叉车臂的进入也容易对靶材造成污染，产品质量差，而且多余铟液依靠加热板表面的导热绝缘布回收，仍然会出现铟液从导热绝缘布流淌下来，造成铟液的浪费和环境的污染。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种用于金属靶材绑定的加热平台，靶材和背板受热均匀，靶材与背板之间铟液均匀度好，多余铟液也得到很好回收，而且靶材容易翻转和搬离，操作安全、方便。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于靶材绑定的加热平台，包括底座，所述底座上设置加热板，所述加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，所述底座边缘四周设置汇流槽，所述汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，所述汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，所述汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，所述汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，所述加热板一侧边缘开设多个U型槽，所述加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。

优选地，所述加热板底部边缘设置导线接头固定部件，每根螺旋形加热管具有加热管接线，每根螺旋形加热管的加热管接线与所述导线接头固定部件连接。

优选地，所述汇流槽外侧板、底板和内侧板一体成型。

优选地，所述汇流槽外侧板呈下大上小的直角梯形结构。

本实用新型的积极有益效果：