[实用新型]一种硅片脱胶用承载架

权利要求书

1.一种硅片脱胶用承载架，包括左侧架体（1）、右侧架体（2）和对称设置于左侧架体（1）和右侧架体（2）底端之间的矩形连杆（3），其特征在于：所述左侧架体（1）和右侧架体（2）均呈由多根矩形杆固定形成的倒置的“凸”字型框架结构，左侧架体（1）和右侧架体（2）的倒置的“凸”字型框架结构下端均设置有限位挡片（4），两限位限位挡片（4）的底部之间对称设置有“L”型晶托限位承载板（5），两限位挡片（4）的顶部之间对称设置有晶托限位承载杆（6），左侧架体（1）和右侧架体（2）之间设置有硅片隔板位置调节机构。

2.如权利要求1所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述硅片隔板位置调节机构包括对称设置于左侧架体（1）内部左右两侧和对称设置与右侧架体（2）内部左右两侧的“U”型板（7）、设置于各“U”型板（7）上的“U”型孔（8）、对称设置于左侧架体（1）与右侧架体（2）“U”型板（7）的“U”型孔（8）内的两个硅片隔板支撑杆（9）。

3.如权利要求2所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述“U”型板（7）倒置设置于左侧架体（1）和右侧架体（2）的倒置的“凸”字型框架结构的框架弯折过渡端（10），“U”型板（7）的一侧竖板固定于框架弯折过渡端（10）的上端矩形杆（11）上，“U”型板（7）的另一侧竖板固定于框架弯折过渡端（10）的下端矩形杆（12）上。

4.如权利要求2所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述硅片隔板支撑杆（9）左右两端均伸出“U”型孔（8），且其伸出“U”型孔（8）部分的外壁设置有螺纹，螺纹上设置有锁紧螺母（13）。

5.如权利要求4所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述硅片隔板支撑杆（9）的左右两端伸出“U”型孔（8）的部分和硅片隔板支撑杆（9）的中部均设置有限位槽（14），脱胶用硅片隔板（15）通过硅片隔板支撑杆（9）上的限位槽（14）卡接固定。

6.如权利要求5所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述脱胶用硅片隔板（15）为矩形板，硅片隔板（15）的底部对称设置有两个第一开口槽（16）和两个第二开口槽（17）。

7.如权利要求6所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述位于同一侧的第一开口槽（16）和第二开口槽（17）之间的距离与“U”型孔（8）的两竖向开口间的距离相配合。

8.如权利要求1所述的一种硅片脱胶用承载架，其特征在于：所述限位挡片（4）上设置有通孔（18）。