[实用新型]一种离子源装置

权利要求书

1.一种离子源装置，其特征在于包括水平方向的一端为进气端而相对的另一端为出气端的壳体及沿气流方向依次设置于所述的壳体的内腔中的阴极盘、阳极蜂窝柱、气流加热室和推斥电极，所述的壳体的进气端上设置有与所述的壳体的内腔连通的载气通入管，所述的阴极盘由陶瓷盘和均匀设置于所述的陶瓷盘上的多根无针头阴极针组成，所述的陶瓷盘竖直布置，所述的无针头阴极针垂直于所述的陶瓷盘，每根所述的无针头阴极针插入所述的阳极蜂窝柱的对应窝孔内，使所述的阴极盘与所述的阳极蜂窝柱配合形成多针-蜂窝结构，每根所述的无针头阴极针通过一个限流电阻接地，所述的阳极蜂窝柱接入直流高压，所述的推斥电极接入直流电压。

2.根据权利要求1所述的一种离子源装置，其特征在于所述的壳体的出气端上连接有一个两端开口的锥形离子导出管，所述的锥形离子导出管的宽口端与所述的壳体的出气端连接且与所述的壳体的内腔连通，所述的推斥电极设置于所述的壳体的出气端上，所述的锥形离子导出管的窄口端作为离子喷射口。

3.根据权利要求1或2所述的一种离子源装置，其特征在于所述的气流加热室沿气流方向的两端开口，所述的气流加热室内设置有加热装置，所述的加热装置为多根水平放置的陶瓷加热棒，多根所述的陶瓷加热棒沿周向布置于所述的气流加热室的室壁上。

4.根据权利要求3所述的一种离子源装置，其特征在于所述的陶瓷加热棒的长度为10～300mm。

5.根据权利要求4所述的一种离子源装置，其特征在于所述的无针头阴极针之间的间距为1～10mm，所述的阳极蜂窝柱的窝孔的孔径为1～6mm，所述的阳极蜂窝柱的窝孔的孔深为1～30mm，所述的无针头阴极针的中心轴线与所述的阳极蜂窝柱的对应窝孔的中心轴线一致，所述的无针头阴极针插入所述的阳极蜂窝柱的对应窝孔内后所述的无针头阴极针的针尖距离所述的阳极蜂窝柱的对应窝孔的末端1～8mm，所述的阳极蜂窝柱的窝孔的末端与所述的推斥电极之间的间距范围为10～500mm。

6.根据权利要求1所述的一种离子源装置，其特征在于所述的陶瓷盘和所述的推斥电极均呈圆盘形，所述的阳极蜂窝柱呈圆柱形，所述的陶瓷盘、所述的阳极蜂窝柱和所述的推斥电极的中心轴线一致，且所述的陶瓷盘、所述的阳极蜂窝柱和所述的推斥电极的外周壁均与所述的壳体的内腔腔壁绝缘连接。

7.根据权利要求1所述的一种离子源装置，其特征在于所述的限流电阻的电阻值为100Ω～10MΩ；所述的阳极蜂窝柱接入1KV～6KV的直流高压；所述的推斥电极接入50～500V的直流电压。

8.根据权利要求1所述的一种离子源装置，其特征在于所述的载气通入管通入的载气为氦气、氮气、氢气、氩气中的一种气体，且载气的流速为0.01L/min～20L/min。

9.根据权利要求1所述的一种离子源装置，其特征在于所述的无针头阴极针的根数为1～20。

10.一种离子源装置，其特征在于包括水平方向的一端为进气端而相对的另一端为出气端的壳体及沿气流方向依次设置于所述的壳体的内腔中的阴极盘、阳极格栅、气流加热室和推斥电极，所述的壳体的进气端上设置有与所述的壳体的内腔连通的载气通入管，所述的阴极盘由陶瓷盘和均匀设置于所述的陶瓷盘上的多根无针头阴极针组成，所述的陶瓷盘竖直布置，所述的无针头阴极针垂直于所述的陶瓷盘，每根所述的无针头阴极针插入所述的阳极格栅的对应栅格内，使所述的阴极盘与所述的阳极格栅配合形成多针-栅格结构，每根所述的无针头阴极针通过一个限流电阻接地，所述的阳极格栅接入直流高压，所述的推斥电极接入直流电压。