[实用新型]一种光学芯片组以及光学芯片组抛光质量检查装置

说明书

本实用新型公开一种光学芯片组抛光质量检查装置，包括：数码光学显微镜，用于对所述光学芯片组的研磨面抛光质量进行观察与成像；反光镜，用于反射光线，使光线入射至所述光学芯片组研磨面上；芯片固定夹具，所述芯片固定夹具包括固定部，所述固定部上形成有至少一条用于固定所述光学芯片组的凹槽，所述光学芯片组插入所述凹槽中时，所述光学芯片组的第一研磨面或第二研磨面呈水平状态。本实用新型还提供一种光学芯片组，所述光学芯片组抛光质量检查装置用于检查所述光学芯片组的所述研磨面抛光质量。本实用新型提供的光学芯片组检测装置能够实现成条检验芯片，并且能直观的检查到光学芯片组研磨面的抛光质量和光波导。

技术领域

本实用新型涉及光学领域，具体涉及一种光学芯片组以及光学芯片组抛光质量检查装置。

背景技术

在生产光学芯片时，常常需要对光学芯片的研磨面抛光质量进行检测，以去除缺陷较大影响其性能的半成品，提高成品的质量。

现有的检验装置只能单粒芯片检查研磨面抛光质量，检查效率低且不能对光波导进行直观的观察。

因此，有必要提供一种新的光学芯片组和光学芯片组抛光质量检查装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种光学芯片组抛光质量检查装置，旨在解决相关技术中现有的检验装置只能单粒芯片检查研磨面抛光质量，检查效率低且不能对光波导进行直观的观察的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种光学芯片组，呈扁平的长条状；包括沿长度方向相对设置且平行的第一表面和第二表面，以及连接在第一表面和第二表面之间的相对设置的研磨面；研磨面包括第一研磨面和第二研磨面，第一研磨面和第二研磨面分别与第一表面呈预设的第一夹角α。

优选地，光学芯片组为自光学晶圆镜片上按照预设的宽度垂直于光学晶圆镜片切割获得的扁平的长条状镜片经研磨形成。

本实用新型还提供一种光学芯片组抛光质量检查装置，用于检查上述的光学芯片组，包括：数码光学显微镜，用于对光学芯片组的研磨面抛光质量进行观察与成像；反光镜，用于反射光线，使光线入射至光学芯片组研磨面上；芯片固定夹具，芯片固定夹具包括固定部，固定部上形成有至少一条用于固定光学芯片组的凹槽。

优选地，凹槽的底面与凹槽的侧面之间形成预设的第一夹角α；凹槽与竖直方向之间形成与预设的第一夹角α相配合的第二夹角β，以使光学芯片组插入凹槽中时，光学芯片组的第一研磨面或第二研磨面呈水平状态；凹槽的长度大于光学芯片组的长度，凹槽的宽度大于光学芯片组的厚度0.1mm-0.5mm，凹槽的深度小于光学芯片组的宽度。

优选地，芯片固定夹具为透明的，反光镜设于芯片固定夹具的下方且承载芯片固定夹具。

优选地，还包括移动平台，移动平台包括：驱动轮、齿条、齿轮、移动部；驱动轮与齿轮通过转轴连接；齿条的一端与齿轮啮合，齿条与移动部固定连接；移动部承载芯片固定夹具和反光镜。

优选地，芯片固定夹具固定连接反光镜，反光镜固定连接移动部。

优选地，还包括底座，底座承载移动平台、数码光学显微镜，底座上形成有螺孔阵列，数码光学显微镜、移动平台通过螺钉与底座上的螺孔相配合，从而连接在底座的对应位置上。

优选地，数码光学显微镜的放大倍率至少为100X。

优选地，还包括显示装置，显示装置与数码光学显微镜相连。

本实用新型提供的光学芯片组抛光质量检查装置中，数码光学显微镜镜头位于芯片固定夹具上方，芯片固定夹具上形成有至少一条用于固定光学芯片组的凹槽，反光镜设于芯片固定夹具下方，能够将自然光光线反射进入光学芯片组研磨面上，光学芯片组固定于芯片固定夹具上时能够观察到光波导，从而能够实现对光学芯片组研磨面的抛光质量的检查，同时也能够观察到光学芯片组的光波导。