[实用新型]太赫兹共焦显微成像系统

权利要求书

1.一种太赫兹共焦显微成像系统，包括一光源模块(1)，用于发射太赫兹光束；数据采集模块(4)，用于接收所述太赫兹光束并将其转换为电信号；以及数据处理与图像还原模块(5)，用于接收数据采集模块(4)的电信号并成像，其特征在于，所述成像系统还包括：

一载物台模块(2)，用于承载一待成像物体并受所述数据处理与图像还原模块(5)控制对其进行旋转和平移，以及将该待成像物体的旋转平移二维信息发送至所述数据处理与图像还原模块(5)；

一光路传输模块(3)，用于将所述太赫兹光束沿一光路传输至所述数据采集模块(4)，该光路上具有两个焦点且该光路穿过所述待成像物体；以及

一空间滤波模块(6)，包括分别设于所述两个焦点处的针孔(61、62)。

2.根据权利要求1所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，所述载物台模块(2)包括载物台单元(21)，以及与所述载物台单元(21)连接的驱动器(22)；所述载物台单元(21)包括基台、设于所述基台上且用于承载所述待成像物体的旋转平移台。

3.根据权利要求2所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，所述旋转平移台和所述待成像物体之间设有升降台。

4.根据权利要求2所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，所述驱动器(22)包括与所述基台连接的两个电机以及分别与这两个电机连接的采集器。

5.根据权利要求1所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，所述光路传输模块(3)包括沿光路的走向依次排布的第一离轴拋面镜(31)、第二离轴拋面镜(32)、第三离轴拋面镜(33)、第四离轴拋面镜(34)、平面镜(35)、第五离轴拋面镜(36)、第六离轴拋面镜(37)、第七离轴拋面镜(38)以及第八离轴拋面镜(39)；

所述两个焦点为第二离轴拋面镜(32)和所述第三离轴拋面镜(33)的共同焦点，以及第六离轴拋面镜(37)和第七离轴拋面镜(38)共同焦点；所述待成像物体设于所述平面镜(35)上并通过该平面镜(35)承载于所述载物台模块(2)上。

6.根据权利要求5所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，平面镜(35)水平放置，且第一离轴拋面镜(31)、第二离轴拋面镜(32)、第三离轴拋面镜(33)、第六离轴拋面镜(37)、第七离轴拋面镜(38)以及第八离轴拋面镜(39)的主光轴位于水平面上。

7.根据权利要求1所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，所述光源模块(1)包括一太赫兹量子级联激光器(11)以及一连接所述太赫兹量子级联激光器的激光器电源(12)。

8.根据权利要求1所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，所述数据采集模块(4)包括依次连接的探测器(41)、信号读出及前置放大器(42)、锁相放大器(43)、数据采集卡(44)，所述太赫兹光束传输至所述探测器(41)，所述数据采集卡(44)与所述数据处理与图像还原模块(5)连接。

9.根据权利要求8所述的太赫兹共焦显微成像系统，其特征在于，所述探测器(41)为太赫兹量子阱探测器、Ge:Ga低温探测器、高莱盒、超导低温HEB或辐射热测定器。