[实用新型]一种区熔炉大盘防护装置

说明书

本实用新型提供了一种区熔炉大盘防护装置，包括左半管和右半管，主轴穿过左半管和右半管形成的圆形管内部，左半管和右半管的上端均设置有上连接孔，下端设置有下连接孔，左半管和右半管的上端通过上连接孔与主轴防尘圈连接，左半管和右半管的下端通过下连接孔与原有的大盘连接，左半管和右半管的外壁的分别固定设置有左防护盘和右防护盘，左防护盘和右防护盘均为半圆形，左防护盘和右防护盘的端面上分别设置有左连接板和右连接板，螺栓穿过左连接板和右连接板上的板间连接孔实现左半管和右半管以及左防护盘和右防护盘之间的可拆卸连接。本实用新型能减小单晶裂后流熔对炉体的影响，能够轻松的将硅渣清理干净，节约了大量工时，提高效率。

技术领域

本实用新型属于区熔技术技术领域，尤其是涉及一种区熔炉大盘防护装置。

背景技术

现区熔炉八寸单晶工艺还未处在十分成熟阶段，在拉至八寸单晶过程中会出现因各种问题导致单晶裂，从而硅液流出，烫坏下炉室大盘和螺丝。导致降温后，拆下大盘清理硅渣的过程变得十分困难，从而影响工时的，耽误生产；如多次流熔会将原防护大盘烫坏变形，严重可使下转卡住，导致单晶流熔，造成损失；在配合现在FZ-30和FZ-35单晶炉的切小头的应用，原有的装置会出现单晶头卡在大盘上；摔碎的硅渣掉进大盘下面，很容易出现大盘卡住的故障，故做出新型大盘对以上问题的防护。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种区熔炉大盘防护装置，能减小单晶裂后流熔对炉体的影响，能够轻松的将硅渣清理干净，节约了大量工时，提高效率。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种区熔炉大盘防护装置，包括左半管和右半管，左半管和右半管形成圆形管，主轴穿过左半管和右半管形成的圆形管内部，左半管和右半管的上端均设置有上连接孔，左半管和右半管的下端均设置有下连接孔，左半管和右半管的上端通过上连接孔与上方的主轴防尘圈可拆卸连接，左半管和右半管的下端通过下连接孔与下方的原有的大盘可拆卸的连接，左半管和右半管的外壁的水平方向上分别固定设置有左防护盘和右防护盘，左防护盘和右防护盘均为半圆形，且左防护盘和右防护盘的两端的端面与左半管和右半管的端面分别平齐，左防护盘和右防护盘的端面上分别设置有左连接板和右连接板，左连接板和右连接板上相对应的位置上设置有板间连接孔，螺栓穿过左连接板和右连接板上的板间连接孔实现左半管和右半管以及左防护盘和右防护盘之间的可拆卸连接。

进一步的，左防护盘和右防护盘上均设置有钢丝通过孔，左防护盘和右防护盘的边沿向上设置有挡板，左防护盘和右防护盘的挡板围成封闭的圆形，左防护盘和右防护盘的底部均由外到内向下倾斜。

进一步的，左防护盘和右防护盘围成的圆形防护盘的半径等于下面原有的大盘的半径。

进一步的，左防护盘和右防护盘的底部向下倾斜角度为15-20°。

进一步的，左半管和右半管的下端分别向外沿管壁上设置有左连接半法兰和右连接半法兰，左连接半法兰和右连接半法兰组成一个圆形，左连接半法兰和右连接半法兰上设置有下连接孔，螺栓穿过下连接孔将左连接半法兰和右连接半法兰固定在原有的大盘上。

相对于现有技术，本实用新型所述的区熔炉大盘防护装置具有以下优势：

本实用新型所述的区熔炉大盘防护装置，可将单晶头聚集在靠近主轴的位置，避免在开启正反转之后单晶头发生碰撞发生震动的问题出现，解决了原有装置在拉晶中开启正反转后下轴下轴异响和频繁清理下炉室大盘下硅渣的问题。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的区熔炉大盘防护装置的从上方看的立体示意图；